[发明专利]夹具去嵌入方法、系统、存储介质、计算机程序及应用

说明书

本发明属于微波测试技术领域，公开了一种夹具去嵌入方法、系统、存储介质、计算机程序及应用，利用夹具分别夹持两段不同的传输线，分别测出整个系统的S参数[S^t]，即[S^t1]和[S^t2]；根据公式计算出夹具夹持的两段不同的传输线的S参数[S^t01]和[S^t02]；设定[S]一个恰当的初始值，逼近出夹具的S参数[S]。采用本发明的方法夹具仿真数据与计算数据对比发现，采用双传输线的夹具去嵌方法，可以准确有效的提取出被测件两端的夹具S参数数据，为后续的半导体参数测试打好基础。相比传统的校准方法，具有实现简单，加工简单，对标准件的加工精度要求较低的特点，具有较好的应用价值。

技术领域

本发明属于微波测试技术领域，尤其涉及一种夹具去嵌入方法、系统、存储介质、计算机程序及应用。

背景技术

目前，在微波电路的设计和研制过程中，微波器件的测试一直受到重视。由于CAD技术的发展，微波器件的测量精度要求也逐渐提高。自动网络分析仪端口往往不能直接与待测件连接，而需要通过特定夹具，才能实现对被测件进行测量，因此微波网络分析仪所获取的参数包含了待测件与夹具两方面的信息，要想只获得待测器件的准确参数,就必须进行去嵌入计算以消除夹具带来的影响。

传统的去嵌入校准方法有SOLT校准法和TRL校准法。SOLT校准法通过在测量端口分别连接相应的短路、开路、匹配负载和直通四个标准校准件，实现对夹具带来测量误差的校准和消除。TRL校准技术也被称作直通-反射-传输线技术，它是利用传输线的直通、反射和时延四个标准校准件，实现对夹具带来测量误差的校准和消除。传统方法需要多个校准件，并且对校准件的设计及加工的精密性提出了很高的要求。

综上所述，现有技术存在的问题是：传统去嵌入及校准方法需要多个标准校准件，这导致：1、计算方法非常复杂，包含了8到12项误差模型；2、测量准确度跟标准件的精度直接相关，因此对校准件的设计及加工的精密性提出了极高的要求；3、开路、短路、负载校准件加工难度大，成本高，往往带来较大的寄生参数；4、计算误差较大，且难以消除。

解决上述技术问题的难度：若仍采用传统的去嵌入及校准方法，1、计算方法复杂性无法解决；2、测量准确度的提高及误差的降低只能通过提高加工工艺及加工精密度，对加工仪器提出了更高的要求，短期内无法实现。因此要解决上述技术问题，只能提出一种新的去嵌入及校准方法。

解决上述技术问题的意义：1、降低计算方法的复杂性，提高精度；2、降低校准件的设计、加工难度，便于加工和实现；3、提高测量准确度，降低计算误差。

发明内容

针对现有技术存在的问题，本发明提供了一种夹具去嵌入方法、系统、存储介质、计算机程序及应用。

本发明是这样实现的，一种夹具去嵌入方法，所述夹具去嵌入方法包括以下步骤：

第一步，利用夹具分别夹持两段不同的传输线，用测量设备分别测出其网络参数[S^t]，即[S^t1]和[S^t2]，改参数包含了夹具与传输线的信息；

第二步，根据理论计算出传输线网络参数[S^t01]和[S^t02]，其理论公式为：

其中，式：

式中，Z₀＝50Ω，Z₂为中间一段传输线的特性阻抗，γ为传输线的衰减常数，l为传输线的长度，Z₂和γ通过传输线的参数求得。

第三步，设夹具的网络参数为[S],获取其与[S^t]、[S^t0]理论关系如下：