[发明专利]一种激光复合清洗系统以及方法

权利要求书

1.一种激光复合清洗系统，其特征在于，包括连续激光产生装置、纳秒脉冲激光产生装置、第一振镜以及第二振镜，所述第一振镜用于独立调节所述连续激光产生装置产生的激光束路径，所述第二振镜用于独立调节所述纳秒脉冲激光产生装置产生的激光束路径。

2.根据权利要求1所述的激光复合清洗系统，其特征在于，所述连续激光产生装置产生的激光束与所述纳秒脉冲激光产生装置产生的激光束焦点存在间距。

3.根据权利要求1所述的激光复合清洗系统，其特征在于，所述连续激光产生装置输出的激光波长为1064nm。

4.一种采用如权利要求1-3中任一项所述的激光复合清洗系统进行清洗的激光复合清洗方法，其特征在于，所述激光复合清洗方法包括以下步骤：

参数设置步骤：

根据待清洗面形状将所述第一振镜与所述第二振镜的扫描图形以及扫描方向设置与所述待清洗面形状一致并且扫描起点相同；

设置所述连续激光产生装置输出激光的平均功率p1以及扫描速度v1；

设置所述纳秒脉冲激光产生装置输出激光的平均功率p2、脉冲频率、脉冲宽度以及扫描速度v2,其中v2小于v1，p2小于p1；

清洗步骤：

所述连续激光产生装置与所述纳秒脉冲激光产生装置分别根据所设置的参数进行清洗。

5.根据权利要求4所述的激光复合清洗方法，其特征在于，根据待清洗面形状将所述第一振镜与所述第二振镜的扫描图形以及扫描方向设置与所述待清洗面形状一致并且扫描起点相同，包括：

若所述待清洗面为平面时：

可以将工件固定不动，通过所述第一振镜和所述第二振镜在平面上X，Y方向上摆动扫描。

也可以将工件固定不动，所述第一振镜和所述第二振镜在平面上X，Y方向中任一个方向上往复扫描，机械臂在另一个方向上进给。

若所述待清洗面为曲面时：

将轴类工件固定在旋转轴上，所述旋转轴围绕中心线旋转，所述第一振镜和所述第二振镜在平行于所述中心线的方向上往复扫描。