[发明专利]一种突发下货产品的工艺风险评估方法及评估系统

说明书

本发明涉及集成电路制造领域，提供了一种突发下货产品的工艺风险评估方法，包括如下步骤：S1、判断当前下货的产品的工艺流程是否存在风险，如所述工艺流程存在风险则执行S2，否则退出；S2、获取所述产品前一批次的工艺流程，并与步骤S1中的工艺流程进行比对；S3、获取所述产品的基准产品的工艺流程，并与步骤S1中的工艺流程进行比对；S4、根据步骤S2和S3的比对结果生成报告，并发送邮件给工程师。本发明的优点是能够避免因忽略或遗漏导致的产品工艺流程的误差而引致的低良率甚至报废风险。

技术领域

本发明涉及集成电路制造领域，尤其涉及一种突发下货产品的工艺风险评估方法及评估系统。

背景技术

在集成电路制造行业中，生产线并不是专用的，一条生产线往往穿插着生产多种型号、需求的产品。而其中的每种产品的生产工艺流程往往是不同，同一产品在不同时期的工艺流程也可能有所改变。因此，控制工艺流程是控制产品质量的一道关卡。

目前代工生产厂家中的实际情况是线上平台丰富，产品组成复杂，每天都存在多种多样的产品投片和下货。其中对工艺流程的控制仅靠人工管理是远远不够的，现代化的生产厂家往往都设计了自动化的工艺流程管理系统，以实现对线上产品工艺流程的管控。

但是，现有的管理系统还存在缺陷，它仅能将现有的工艺流程与上线生产的产品进行匹配，然后按流程进行加工。但是，对于某些类型的产品，其自动匹配到的工艺流程可能并不适合，或者说，管理系统中的工艺流程可能在某些情况下是较旧的版本而管理系统并不自知。因此，需要对一些特殊类型的产品进行工艺流程确认后才继续上线。

发明内容

本发明的目的在于制定一种标准化算法/系统，对突发下货产品的工艺流程进行自动化检查，评估流程中潜在的风险，及时形成汇报，告知工程师，避免由于工艺流程更新不及时而导致的产品质量异常。

本发明首先提供了一种突发下货产品的工艺风险评估方法，包括如下步骤：

S1、判断当前下货的产品的工艺流程是否存在风险，如所述工艺流程存在风险则执行S2，否则退出；

S2、获取所述产品前一批次的工艺流程，并与步骤S1中的工艺流程进行比对；

S3、获取所述产品的基准产品的工艺流程，并与步骤S1中的工艺流程进行比对；

S4、根据步骤S2和S3的比对结果生成报告，并发送邮件给工程师。

上述的突发下货产品的工艺风险评估方法，其中，步骤S1中，首先对当前下货的产品进行分类，判断工艺流程是否存在风险，包括如下步骤：

S11、是否是正式产品下货，如是则执行S12，否则退出；

S12、是否是首次下货，如是，则将本次产品定义为AP产品，如否则执行S13；

S13、近期是否未下货，如是，则将本次产品定义为WS产品，如否则执行S14；

S14、本次下货的数量是否超过预定值，如是，则执行S15，否则退出；

S15、当前线上未完成的产品数是否小于一指定值，如是，则将本次产品定义为Mass产品，否则退出。

上述的突发下货产品的工艺风险评估方法，其中，步骤S2和S3中，至少比对以下内容：站点增删、工艺站点条件、量测站点DC设置、污染等级、安全值、等待时间。

上述的突发下货产品的工艺风险评估方法，其中，步骤S3中，所述基准产品按以下顺序选择：

S31、所述当前下货的产品本身；

S32、工艺流程码的全码及历史产品的前四码与当前下货的产品相同的产品；

S33、工程师定义的产品；