[发明专利]一种集成光学复合基板

权利要求书

1.一种集成光学复合基板，其特征在于，所述集成光学复合基板包括：垂直腔面发射激光器(1)以及覆盖于所述垂直腔面发射激光器顶面上的光调制层(2)，在所述垂直腔面发射激光器(1)的顶部开设贯穿顶面的出光孔(3)，在所述出光孔(3)内填充有光传输层(4)，通过调整光传输层(4)的结构形态来调整光射入光调制层(2)的角度，使得光以目标预设角度射入光调制层(2)。

2.根据权利要求1所述的集成光学复合基板，其特征在于，所述光调制层(2)的入射面为斜面。

3.根据权利要求1或2所述的集成光学复合基板，其特征在于，在所述光传输层(4)中嵌入有光传输通道(5)，所述光传输通道(5)贯穿于所述光传输层(4)并且与光调制层(2)的入射面连接。

4.根据权利要求3所述的集成光学复合基板，其特征在于，所述光传输通道(5)的折射率小于光调制层(2)的折射率。

5.根据权利要求3所述的集成光学复合基板，其特征在于，所述光传输通道(5)的直径由所述出光孔(3)的底面向光调制层入射面逐渐减小，并且，所述光传输通道(5)在所述光调制层(2)入射面上的切线与所述光调制层(2)的入射面之间具有第一预设角度。

6.根据权利要求5所述的集成光学复合基板，其特征在于，所述光传输通道(5)包括斜圆锥形、斜圆台形、斜面圆锥体或者斜面圆台形。

7.根据权利要求5所述的集成光学复合基板，其特征在于，所述出光孔(3)与所述光传输通道(5)的形状相似。

8.根据权利要求1或2所述的集成光学复合基板，其特征在于，在所述光传输层(4)与所述光调制层(2)之间设置有高透层(6)。

9.根据权利要求3所述的集成光学复合基板，其特征在于，在所述光传输通道(5)的外周面上设置有反射层(7)。

10.根据权利要求1或2所述的集成光学复合基板，其特征在于，所述垂直腔面发射激光器(1)包括上电极(16)，在所述上电极(16)的上表面设置有绝缘层(8)，所述出光孔(3)贯穿于所述上电极(16)以及绝缘层(8)。

11.根据权利要求3所述的集成光学复合基板，其特征在于，

用于制造所述光调制层(2)的材料包括铌酸锂薄膜和钽酸锂薄膜；和/或

用于制造所述光传输层(4)的材料包括硅和氮化硅；和/或

用于制造所述光传输通道(5)的材料包括硅和氮化硅。