[发明专利]一种具备检测功能的退火炉

说明书

本发明提供一种具备检测功能的退火炉，涉及退火炉领域，包括退火炉本体、运输炉车和炉槽，所述退火炉本体的内部开设有炉槽，其中退火炉本体的开口位置处的两端均设置有侧挡板，侧挡板的内部通过齿轮驱动机构啮合连接有前挡板。本发明中，通过在炉体内部设置上限位板和下限位板，则运输炉车可在上限位板和下限位板之间进行滑动，同时，上限位板和下限位板内部开设有滑槽，运输炉车上的滑动块可在滑槽内部滑动，之后炉车将材料输送到炉体内，前挡板下移挡住炉体，通过这样的设置可使得炉车移动的稳定性更高，且限位块的设置还能够保证炉车移动的位置，同时还可最大程度的保证了退火炉整体的密封性能。

技术领域

本发明涉及退火炉领域，尤其涉及一种具备检测功能的退火炉。

背景技术

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能；热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底；退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中，例如氧化，或者可以自己处理。退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的；热处理炉分为退火炉、淬火炉、回火炉、正火炉、调质炉，主要用于大型碳钢、合金钢零件的退火；表面淬火件回火；焊件消除应力退火、时效等热处理工艺。加热方式有电加热、燃油、燃气、燃煤、热风循环；退火炉是一种新型换热设备。

但是，现有的台车式退火炉的运输炉车会随材料一同进入内部进行加工，所以炉体本身的密封性无法得到保障，同时还存在着自动化程度低等缺陷；不满足现有的需求，因此本发明提出一种具备检测功能的退火炉来解决上述问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种具备检测功能的退火炉，以解决上述技术问题。

本发明为解决上述技术问题，采用以下技术方案来实现：一种具备检测功能的退火炉，包括退火炉本体、运输炉车和炉槽，其特征在于：所述退火炉本体的内部开设有炉槽，其中退火炉本体的开口位置处的两端均设置有侧挡板，侧挡板的内部通过齿轮驱动机构啮合连接有前挡板，前挡板正好完全挡住炉槽开口处；

所述退火炉本体的内侧底部设置有底座，底座的顶部两侧设置有滚轮槽，其中滚轮槽上通过滚轮滑动连接有运输炉车；所述退火炉本体的内侧底部固定有下限位板，下限位板的上方设置有上限位板，其中运输炉车的两端滑动连接在上限位板和下限位板之间；

所述退火炉本体的外侧设置有主控器，退火炉本体的内部设置有温度控制器和计时控制器，所述温度控制器和计时控制器均与主控器电性连接。

优选的，所述齿轮驱动机构包含有驱动轮、驱动电机和齿条板，其中齿条板设置在前挡板的两侧，驱动轮设置在侧挡板的内部，且驱动轮与齿条板啮合连接，其中驱动电机设置在侧挡板的外侧，驱动电机通过链条与驱动轮传动连接。

优选的，所述驱动电机的控制器与主控器电性连接。

优选的，所述上限位板和下限位板的内部均开设有滑槽，且两个滑槽相向设置，运输炉车两端的上下两侧均设置有滑动块，其中滑动块在相应的滑槽内滑动。

优选的，所述运输炉车的控制器与主控器电性连接。

优选的，所述退火炉本体的内壁上设置有加热板。

优选的，所述前挡板的高度与退火炉本体的高度相同。

进一步的，。

与相关技术相比较，本发明提供的具备检测功能的退火炉具有如下有益效果：