[发明专利]红外探测器、红外检测设备及成型方法

权利要求书

1.一种红外探测器，其特征在于，包括：

电热堆，包括多个相连接的电偶对，每个所述电偶对具有相对的冷端以及热端；

吸收膜，设置于所述电热堆的一侧且连接各所述电偶对的所述热端，所述吸收膜包括层叠设置的反射层以及吸收层；

其中，入射至所述吸收膜的红外光一部分在所述吸收层的入射面产生全反射形成第一光线束，另一部分经由所述吸收层及所述反射层折射反射并在所述入射面形成第二光线束，所述第一光线束及所述第二光线束在所述入射面干涉抵消。

2.根据权利要求1所述的红外探测器，其特征在于，所述吸收层的厚度与折射率的乘积为所述红外光的四分之一波长的奇数倍。

3.根据权利要求1所述的红外探测器，其特征在于，所述反射层的厚度为

4.根据权利要求1所述的红外探测器，其特征在于，所述吸收膜上设置有多个开孔，多个所述开孔在所述吸收膜上间隔分布；

和/或，所述反射层为金属层结构，所述吸收层为绝缘层结构。

5.根据权利要求1所述的红外探测器，其特征在于，所述电偶对包括第一导体以及第二导体，所述第一导体以及所述第二导体在所述吸收膜的厚度方向上相互层叠并彼此电连接。

6.根据权利要求5所述的红外探测器，其特征在于，所述电热堆具有形成多个所述第一导体的第一导电层以及形成多个所述第二导体的第二导电层，所述第一导电层与所述第二导出层之间设置有绝缘分隔层，所绝缘分隔层上设置有过孔，所述第二导体通过所述过孔与对应的所述第一导体电连接。

7.根据权利要求1所述的红外探测器，其特征在于，所述电偶对包括第一导体以及第二导体，所述第一导体以及所述第二导体至少部分相互间隔且彼此电连接，所述第一导体以及所述第二导体之间形成有分隔槽。

8.根据权利要求1所述的红外探测器，其特征在于，所述红外探测器进一步包括基底，所述电热堆设置于所述基底与所述吸收膜之间，所述红外探测器进一步包括减薄槽，所述减薄槽由所述基底远离所述吸收膜的一侧起始向靠近所述吸收膜的方向延伸。

9.根据权利要求1所述的红外探测器，其特征在于，多个所述电偶对分成两组以上电偶对组，每组所述电偶对组包括两个以上所述电偶对，相邻两组所述电偶对组的所述电偶对的延伸方向相交。

10.一种红外检测设备，其特征在于，包括如权利要求1至9任意一项所述的红外探测器。

11.一种红外探测器的成型方法，其特征在于，包括如下步骤：

提供具有电热堆的基底，所述电热堆包括多个相连接的电偶对，每个所述电偶对具有相对的冷端以及热端；

在所述基底上成型吸收膜，所述吸收膜与各所述电偶对的所述热端连接，所述吸收膜包括层叠设置的吸收层以及反射层，入射至所述吸收膜的红外光一部分在所述吸收层的入射面产生全反射形成第一光线束，另一部分经由所述吸收层及所述反射层折射反射并在所述入射面形成第二光线束，所述第一光线束及所述第二光线束在所述入射面干涉抵消。

12.根据权利要求11所述的红外探测器的成型方法，其特征在于，在所述基底上成型吸收膜的步骤具体包括：

在所述电热堆上方沉积金属，以成型所述反射层；

在所述反射层上沉积形成吸收层，其中，所述吸收层的厚度与折射率的乘积为所述红外光四分之一波长的奇数倍。