[发明专利]一种紧凑型超高真空用GM制冷机在审
| 申请号： | 202010106786.0 | 申请日： | 2020-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN111197876A | 公开（公告）日： | 2020-05-26 |
| 发明（设计）人： | 谢斌平;董金奎;王冰雷 | 申请（专利权）人： | 费勉仪器科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | F25B9/14 | 分类号： | F25B9/14;F25B41/06;F25B49/00 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人： | 姜杉 |
| 地址： | 201900 上海市宝*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 紧凑型 超高 真空 gm 制冷机 | ||
1.一种紧凑型超高真空用GM制冷机，包括GM制冷膨胀机、转接法兰、冷头，所述转接法兰的一面连接所述GM制冷膨胀机，另一面连接所述冷头，所述GM制冷膨胀机上设置有气体进口与气体出口，所述冷头包括一级冷头和二级冷头，其特征在于：所述转接法兰包括大法兰和小法兰；所述小法兰连接所述大法兰；所述小法兰上设置有法兰管道；所述小法兰的数量为两个或者两个以上的。
2.根据权利要求1所述的一种紧凑型超高真空用GM制冷机，其特征在于：所述法兰管道中安装有通讯线和旋转机；所述通讯线连接在真空环境中的传感器；所述旋转机连接设置在真空环境中的运动部件。
3.根据权利要求2所述的一种紧凑型超高真空用GM制冷机，其特征在于：所述通讯线为真空内用多芯电馈通。
4.根据权利要求3所述的一种紧凑型超高真空用GM制冷机，其特征在于：所述小法兰与所述大法兰之间焊接相连。
5.根据权利要求4所述的一种紧凑型超高真空用GM制冷机，其特征在于：所述大法兰上设置有圆周焊接端面；所述圆周焊接端面与所述GM制冷膨胀机之间焊接相连。
6.根据权利要求5所述的一种紧凑型超高真空用GM制冷机，其特征在于：所述圆周焊接端面与所述GM制冷膨胀机之间CF型刀口密封。
7.根据权利要求1所述的一种紧凑型超高真空用GM制冷机，其特征在于：附加装置设置孔位于所述一级冷头与所述二级冷头之间的连接处。
8.根据权利要求7所述的一种紧凑型超高真空用GM制冷机，其特征在于：所述连接处设置有走线槽；所述通讯线通过走线槽向下延伸。
9.根据权利要求1至权利要求8任一所述的一种紧凑型超高真空用GM制冷机，其特征在于：所述大法兰为CF100法兰，所述小法兰为CF16法兰。
10.根据权利要求1至权利要求8任一所述的一种紧凑型超高真空用GM制冷机，其特征在于：所述气体进口与所述气体出口朝上。
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