[发明专利]放电灯及紫外线照射装置

说明书

本发明提供一种能够抑制机械强度的下降的放电灯及紫外线照射装置。本发明的放电灯具备发光管、密封部、金属箔、内部引线及缓冲材料。发光管在其内部设置有电极。密封部配置在发光管的两端并且密封电极的端部。金属箔埋设在密封部，金属箔的一端部与电极连接。内部引线的一端部与金属箔的另一端部连接，其另一端部从密封部引出。缓冲材料包围内部引线中的埋设于密封部的第一部分的周围。

技术领域

本发明的实施方式涉及一种放电灯及紫外线照射装置。

背景技术

例如，在半导体的曝光工序、UV(ultraviolet/紫外线固化型)油墨或UV涂料的干燥工序、树脂的固化工序等中，为了利用紫外线发生光化学反应，使用放电灯作为发出紫外线的光源。

专利文献1：日本特开平4-106860号公报

然而，放电灯会随着点亮而发热。放电灯由热膨胀系数不同的多个部件构成，因而随着反复进行点灯和熄灯，机械强度会下降。

发明内容

本发明要解决的技术问题在于提供一种能够抑制机械强度的下降的放电灯及紫外线照射装置。

实施方式的放电灯具备发光管、密封部、金属箔、内部引线及缓冲材料。发光管在其内部设置有电极。密封部配置在发光管的两端并且密封电极的端部。金属箔埋设在密封部，金属箔的一端部与电极连接。内部引线的一端部与金属箔的另一端部连接，其另一端部从密封部引出。缓冲材料包围内部引线中的埋设于密封部的第一部分的周围。

实施方式的紫外线照射装置具备：上述放电灯；及冷却机构，冷却所述放电灯。

根据本发明，能够抑制机械强度的下降。

附图说明

图1是表示实施方式所涉及的放电灯的示意图。

图2是表示实施方式所涉及的放电灯中的密封部附近的图。

图3是表示实施方式所涉及的放电灯中的设置于密封部附近的缓冲材料的剖视图。

图4是表示缓冲材料与不合格率之间的关系的图。

图中：1-紫外线照射装置，5-放电灯，6-发光管，6a-放点空间，7-电极，11-密封部，12-保温膜，13-灯头部件，14-外部引线，15-保持管，16-内部引线，16a-第一部分，20-缓冲材料。

具体实施方式

以下说明的实施方式所涉及的放电灯5具备发光管6、密封部11、金属箔10、内部引线16及缓冲材料20。发光管6在其内部设置有电极7。密封部11配置在发光管6的两端并且密封电极7的端部。金属箔10埋设在密封部11，其一端部与电极7连接。内部引线16的一端部与金属箔10的另一端部连接，内部引线16的另一端部则从密封部11引出。缓冲材料20包围内部引线16中的埋设在密封部11的第一部分16a的周围。

并且，以下说明的实施方式所涉及的内部引线16的、沿长度方向延伸的第一部分16a的长度L1(mm)及缓冲材料20的长度L2(mm)具有L1≥L2的关系。

并且，以下说明的实施方式所涉及的L1(mm)及长度L2(mm)具有0.125≤(L2/L1)≤1的关系。

并且，以下说明的实施方式所涉及的缓冲材料20的厚度d(μm)具有10≤d≤50的关系。

并且，以下说明的实施方式所涉及的缓冲材料20为金属箔。

并且，以下说明的实施方式所涉及的紫外线照射装置1具备放电灯5及冷却放电灯5的冷却机构3。

以下，参照附图对实施方式所涉及的放电灯进行说明。另外，以下实施方式仅为一例，其并不用于限定本发明。并且，在各附图中，对相同的结构标注相同的符号并适当省略重复说明。