[发明专利]一种采用激光干涉原理的实时波长检测装置及其使用方法

说明书

本发明涉及激光波长测量技术领域，提出一种采用激光干涉原理的实时波长检测装置及其使用方法，包括读数头、三角波反射镜，所述读数头包括激光器、分光镜、反射镜、聚光透镜、光电探测器、处理器。本方案仅使用可数的光学器件，即可完成对待测激光束波长的测量，将三角波反射镜或读数头的水平位移量或垂直位移量转化为激光束多倍光程差的变化，在保证激光束波长测量精度的情况下，还简化了激光波长测量装置的复杂性。

技术领域

本发明涉及激光波长测量技术领域，特别涉及一种采用激光干涉原理的实时波长检测装置及其使用方法。

背景技术

激光波长的精确测量对于光学精密测量领域至关重要，以激光干涉仪为例，其测量精度与激光波长的精度直接相关，如何提高激光波长的测量精度，降低激光波长测量装置的复杂度与成本，成了相关领域的重要研究内容。

发明内容

本发明为简化激光波长测量装置的复杂性，提高测量激光束波长的精度，提供一种采用激光干涉原理的实时波长检测装置及其使用方法。

为了实现上述发明目的，本发明实施例提供了以下技术方案：

一种采用激光干涉原理的实时波长检测装置，包括读数头，还包括三角波反射镜，用于接收分光镜透射的激光束，以及反射镜反射的激光束，并将反射镜反射的激光束反射至聚光透镜；

所述读数头包括：

激光器，用于发射激光束；

分光镜，用于将激光器发射的激光束透射至三角波反射镜，以及反射至聚光透镜；

反射镜，用于接收三角波反射镜反射的激光束，并将三角波反射镜反射的激光束再次反射至三角波反射镜；

聚光透镜，用于接收分光镜、三角波反射镜反射的激光束，并将接收到的激光束透射至光电探测器；

光电探测器，用于接收聚光透镜透射的激光束；

处理器，用于检测光电探测器上产生的干涉现象，并记录读数头与三角波反射镜之间的相对移动位移。

本方案仅使用可数的光学器件，即可完成对待测激光束波长的测量，在保证激光束波长测量精度的情况下，还简化了激光波长测量装置的复杂性。

为了完善激光波长的测量工作，所述分光镜倾斜设置于三角波反射镜的上方，且与水平方向存在30度夹角；所述反射镜与分光镜相互平行。

为了增加激光束光程差变化量，所述反射镜包括多个，每个反射镜用于接收三角波反射镜反射的激光束，并将接收到的激光束再次反射至三角波反射镜。

更进一步地，为了更详细的说明本发明的具体结构，所述三角波反射镜包括N个结构相同的反射结构，每个所述反射结构包括第一反射面、第二反射面，所述第一反射面或第二反射面与反射镜平行，且第一反射面与第二反射面之间存在120度夹角。

为了更好的完成激光束聚光效果，所述聚光透镜为凸透镜，且平行于水平方向设置。

优选地，所述聚光透镜为无球差透镜。

优选地，所述位移通过无导轨的压电陶瓷式驱动器实现。

更进一步地，为了更好的实现本发明，所述三角波反射镜、读数头均设置于壳体内，且三角波反射镜与壳体相对固定设置，以及读数头相对于壳体移动设置；或三角波反射镜与壳体相对移动设置，以及读数头相对于壳体固定设置。

一种采用激光干涉原理的实时波长检测装置的使用方法，包括以下步骤：

步骤S1：将三角波反射镜固定设置于壳体内，并将读数头滑动设置于壳体内；