[发明专利]一种干式无油密封螺杆真空泵

说明书

本发明涉及一种干式无油密封螺杆真空泵，属于真空泵技术领域。包括泵体，所述泵体两端固定连接前端盖、后端盖，构成一个密封的腔体，所述泵体上设有吸气口和排气孔；所述腔体内设有一对具有一定间隙的变螺距螺杆：所述主变螺距螺杆和从变螺距螺杆两端分别通过轴承固定于前轴承座和后轴承座内，所述主变螺距螺杆和从变螺距螺杆排气端轴端上分别设有组合密封装置，所述组合密封装置设于前端盖内，所述前端盖与齿轮箱固定连接，所述齿轮箱内设有两传动齿轮，两所述传动齿轮分别固定于变螺距螺杆上；所述主变螺距螺杆与电机的输出轴固定连接。本申请大大提升了螺杆干式真空泵的抽气性能，进一步提高真空泵的可靠性、稳定性和密封性。

技术领域

本发明涉及一种干式无油密封螺杆真空泵，属于真空泵技术领域。

背景技术

螺杆干式真空泵是上世纪九十年初，伴随欧美日等企业在LED导电薄膜、纳米级微处理器、太阳能多晶硅等行业对无油高真空设备的迫切需求而发展起来的理想真空设备。由于螺杆干式真空泵具有真空高、抽气性能稳定、泵腔无油洁净、结构简单、紧凑免维护、抽气元件之间不接触无摩擦、无废气、无废液排放等特点，使之为目前世界上机械真空泵领域内最理想的抽真空设备，已经得到各行各业的广泛认可和使用。

最初螺杆干式真空泵仅仅在比较清洁的真空场合使用，被抽气体都是比较干燥洁净的气体，被抽气体或介质对螺杆真空泵无腐蚀无污染，因此对螺杆真空泵的结构要求并不高。近20年来随着全球各国对环境保护的重视，特别是化工、制药、冶金等行业为了适应节能减排的需要，螺杆干式真空泵在这些特殊行业逐步开始被使用。国内螺杆干式真空泵起步相对欧美国家要晚一些，存在温升太大、轴封使用寿命短、抽气效率低等缺陷。国内螺杆真空泵需求量非常大，国产螺杆真空泵产能较低而且质量上与国外产品有一定差异，因此目前国内螺杆真空泵主要依靠欧美进口，而进口螺杆真空泵的价格非常昂贵，而且交货周期需要半年以上。

而决定螺杆干式真空泵可靠性的关键因素有二个，一个是螺杆泵的动密封可靠性，直接影响螺杆干式真空泵轴封泄漏，轴端动密封的可靠性问题长期困扰着国内外真空泵制造企业；另一个是螺杆转子的型线结构，许多科研院所和大量制造企业都在不断研究和改进螺杆的型线，试图找到一种抽气效率高、真空度高、温升低、性能稳定、可靠性好的螺杆型线来实现螺杆干式真空泵性能上的飞跃进步。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是针对上述现有技术提供一种干式无油密封螺杆真空泵，提高螺杆干式真空泵的抽气性能和密封可靠性。

本发明解决上述问题所采用的技术方案为：一种干式无油密封螺杆真空泵，包括泵体，所述泵体的右端固定连接前端盖，所述泵体的左端固定连接后端盖，所述泵体与前端盖和后端盖构成一个密封的腔体，位于所述后端盖的泵体上设有吸气口，位于所述前端盖的泵体上设有排气口；所述腔体内设有一对具有一定间隙的变螺距螺杆：主变螺距螺杆和从变螺距螺杆；所述前端盖内固定设有前轴承座，所述后端盖内固定设有后轴承座，所述主变螺距螺杆和从变螺距螺杆两端分别通过轴承固定于前轴承座和后轴承座内，所述主变螺距螺杆和从变螺距螺杆排气端轴端上分别设有组合密封装置，所述组合密封装置设于前端盖内，对两变螺距螺杆排气端轴端进行密封；所述前端盖与齿轮箱固定连接，所述齿轮箱内设有两传动齿轮，两所述传动齿轮分别固定于变螺距螺杆上，且两所述传动齿轮相互啮合；所述主变螺距螺杆通过联轴器与电机的输出轴固定连接；受电机驱动主变螺距螺杆旋转，带动传动齿轮同步反向旋转，使得两变螺距螺杆作等速反向旋转。

所述主变螺距螺杆和从变螺距螺杆分别包括吸气螺距区、压缩螺距区和排气螺距区，所述吸气螺距区与吸气口相配合，所述排气螺距区与出气口相配合，所述吸气螺距区的末端与排气螺距区的起始端之间通过压缩螺距区连接，吸气螺距区的起始端到压缩螺距区的终止端，其螺距逐渐变小；所述压缩螺距区的起始端到排气螺距区的尾端，其螺距逐渐变小。

所述压缩螺距区的螺距逐渐变小，压缩螺距区初始端的螺距与第一螺距区的螺距相同，所述压缩螺距区终止端的螺距与排气螺距区的螺距相同。