[发明专利]用于激光加工的设备及用于补偿其误差的方法

权利要求书

1.一种用于激光加工的设备，包括：

台，所述台支承衬底；

控制器，所述控制器生成误差补偿表；

电机驱动器，所述电机驱动器使所述台移动；以及

误差补偿单元，所述误差补偿单元生成用于补偿误差的表，

其中，所述误差补偿单元包括：

栅格板，所述栅格板布置在所述台上；以及

成像单元，所述成像单元对所述栅格板进行成像，

其中，所述电机驱动器根据所述台的位置将位置同步信号输出到所述成像单元，以及

其中，所述成像单元从所述电机驱动器接收所述位置同步信号，并且在使所述台移动期间对所述栅格板进行成像。

2.如权利要求1所述的用于激光加工的设备，其中，每当所述台移动预定距离时，所述电机驱动器输出所述位置同步信号，

其中，经生成的所述误差补偿表包括移动误差，以及

其中，包括在所述误差补偿表中的所述移动误差指示在所述位置同步信号的所述输出与所述栅格板的所述成像之间的延迟期间发生的所述台经过的实际距离与所述预定距离之间的差异。

3.如权利要求1所述的用于激光加工的设备，其中，所述控制器对由所述成像单元成像的图像进行分析以生成所述误差补偿表。

4.如权利要求3所述的用于激光加工的设备，其中，所述控制器基于所述误差补偿表来输出移动补偿信号。

5.如权利要求1所述的用于激光加工的设备，其中，所述栅格板包括反射材料，并且来自照明单元的光通过同轴照明被提供给所述栅格板。

6.如权利要求5所述的用于激光加工的设备，其中，所述照明单元包括以至少3W的功率驱动的光源。

7.如权利要求1所述的用于激光加工的设备，其中，所述成像单元包括以至少每秒60帧的帧速率成像的高速相机。

8.如权利要求1所述的用于激光加工的设备，还包括：

激光束发生器，所述激光束发生器布置在所述台上；

振镜扫描器单元，所述振镜扫描器单元从所述激光束发生器接收激光束；以及

透镜单元，所述透镜单元布置在所述振镜扫描器单元与所述台之间。

9.如权利要求8所述的用于激光加工的设备，其中，所述透镜单元包括远心透镜和F-θ透镜中的至少一个。

10.一种对用于激光加工的设备的误差进行补偿的方法，所述方法包括：

在母板上形成栅格板；

使其上布置有所述栅格板的台移动；

每当所述台移动预定距离时，生成位置同步信号；

响应于所述位置同步信号而对所述栅格板进行成像；以及

通过计算由像差引起的误差来生成像差补偿表。

11.如权利要求10所述的方法，其中，所述栅格板是在所述台移动期间响应于所述位置同步信号而被成像的。

12.如权利要求10所述的方法，还包括：

在通过计算所述误差来生成所述像差补偿表之后，输出台移动补偿信号。

13.如权利要求10所述的方法，其中，响应于所述位置同步信号而对所述栅格板进行成像包括：

以至少每秒30帧的帧速率对所述栅格板进行成像。

14.如权利要求10所述的方法，其中，形成所述栅格板包括：

在所述母板上形成栅格；

其中，所述栅格板包括反射材料，以及

其中，所述栅格板包括多个正交的线。