[发明专利]光电检测设备及光电检测方法在审
申请号: | 202010052364.X | 申请日: | 2020-01-17 |
公开(公告)号: | CN111122518A | 公开(公告)日: | 2020-05-08 |
发明(设计)人: | 周竞辉;高鹏;高翾;张风港 | 申请(专利权)人: | 北京石墨烯研究院 |
主分类号: | G01N21/59 | 分类号: | G01N21/59;G01N27/04;G01R27/02 |
代理公司: | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人: | 李建忠;袁礼君 |
地址: | 100095 北京市海淀区苏家*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光电 检测 设备 方法 | ||
本公开涉及自动检测技术领域,提出了一种光电检测设备及光电检测方法。光电检测设备包括上料部、传输组件以及检测组件,上料部用于承载待检测膜料;传输组件用于驱动上料部移动;检测组件设置在上料部的移动路径上,检测组件包括透光率检测部和面电阻检测部,以用于测量待检测膜料的光学透光率和面电阻。本公开的光电检测设备通过上料部、传输组件以及检测组件的透光率检测部和面电阻检测部能够实现对待检测膜料的光学透光率和面电阻的自动测量,以此判断待检测膜料是否合格。由于整个过程属于自动化测量,提高了检测效率,且适合生产线的批量快速检测。
技术领域
本公开涉及自动检测技术领域,尤其涉及一种光电检测设备及光电检测方法。
背景技术
石墨烯材料具有优异的电学、力学、光学以及热力学等性质,是一种是综合性能优秀、极具应用前景的新型材料。目前国内外多家科研院所和企业都已经实现了石墨烯薄膜材料的中试级规模化生产,但是由于设备不稳定或工艺不成熟所得到材料的性能均一性比较差。高品质石墨烯材料的批量稳定制备有助于下游的规模化应用,因此针对石墨烯薄膜材料批量制备生产线的过程检测尤为重要。
当前行业内针对石墨烯薄膜材料的检测主要是采取手动单点的检测方式,通常还需要特殊制样,属于离线式的检测手段,效率低,不适合用于生产线的批量快速检测。
发明内容
本公开的一个主要目的在于克服上述现有技术的至少一种缺陷,提供一种光电检测设备及光电检测方法。
根据本发明的第一个方面,提供了一种光电检测设备,包括:
上料部,上料部用于承载待检测膜料;
传输组件,传输组件用于驱动上料部移动;
检测组件,检测组件设置在上料部的移动路径上,检测组件包括透光率检测部和面电阻检测部,以用于测量待检测膜料的光学透光率和面电阻。
在本发明的一个实施例中,传输组件包括:
第一传输部;
第二传输部,第一传输部与第二传输部间隔设置且延伸方向相一致,第一传输部与第二传输部之间形成检测间隙;
其中,透光率检测部的至少部分和面电阻检测部的至少部分均与检测间隙相对设置,以在上料部带动待检测膜料移动至与检测间隙相对的位置后,透光率检测部和面电阻检测部用于测量待检测膜料的光学透光率和面电阻。
在本发明的一个实施例中,透光率检测部包括第一探头和第二探头,第一探头和面电阻检测部均位于检测间隙的上方,第二探头的至少部分位于检测间隙内或检测间隙的下方;
其中,第一探头和第二探头相对设置。
在本发明的一个实施例中,上料部为镂空结构,以避免遮挡第一探头和第二探头测量待检测膜料的光学透光率。
在本发明的一个实施例中,透光率检测部和面电阻检测部均可移动地设置,以调节透光率检测部和面电阻检测部与上料部上的待检测膜料之间的相对位置。
在本发明的一个实施例中,光电检测设备还包括:
横移机构,横移机构设置在上料部的移动路径上,检测组件设置在横移机构上,横移机构驱动检测组件沿垂直于上料部的移动方向的方向移动。
在本发明的一个实施例中,透光率检测部包括相对设置的第一探头和第二探头,横移机构包括:
第一横移部,第一横移部位于传输组件的上方,第一探头和面电阻检测部设置在第一横移部上;
第二横移部,第一横移部与第二横移部相对设置,且第二横移部位于传输组件的下方,第二探头设置在第二横移部上;
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