[发明专利]光波导多微流道检测系统

说明书

本发明提供一种光波导多微流道检测系统，包括。具有有益效果：形成光波导与多微流道一体化矩阵的结构，通过多微流体通道和大规模矩阵化的光波导来实现比传统光学系统更高通量的分析性能，快速构建高通量生物样品的芯片级的片上光学检测分析系统，实现微纳尺度下的生物检测的高通量芯片。

技术领域

本发明涉及一种光波导多微流道体检测系统，尤其涉及一种光波导多微流道体生物检测系统。

背景技术

在现代生化分析流程中，高通量检测设备已经被广泛使用。这些设备大多采用基于微流体技术或者微孔阵列的生物芯片，装载在高性能的光学系统中，实现对诸如核酸、蛋白、病毒、细菌、细胞等等不同尺寸的生物样品的分析。这些光学系统的设计通常都基于复杂的几何光学，其体积大、成本高、需要光学准直、维护成本较高。

在精准医疗时代，小型化、高性能、低成本和可移动的集成化分析系统受到很大关注。尤其是lab on chip的概念，经过几十年的发展，基于微流体技术对生物样品的操控方面取得了长足的进步，但真正的lab on chip系统仍然缺少一种微纳尺度下的高通量生物样品的芯片级的片上光学检测和分析集成系统。

同时，在高分子聚合物薄膜上沉积光学氮化硅薄膜等材料，将以SiN为波导的集成光学器件同硅或者玻璃衬底分开且聚合物具有一定的延展性，这大大增加了以SiN等材料为波导的集成光学器件的其应用范围。

在高分子聚合物上沉积薄膜，为了不破坏聚合物的分子结构需要将沉积温度控制的越低越好，而目前主流的SiN薄膜生长温度在400度左右，仍然太高。

发明内容

为解决目前现代生化分析仪器体积庞大、成本高和满足精准医疗时代所需求的仪器小型化、可移动和集成化等一系列新的需求。本发明通过集成电路量产工艺来生产这种芯片级光学检测和分析系统，将传统光学系统的功能通过集成光学或片上光学器件来实现，不仅可以把传统的台式甚至大型的光学系统缩小到芯片尺寸，而且还保证同等甚至更出色的分析性能，实现微纳尺度下的生物样品的高通量芯片级光学检测和分析集成系统，大幅度降低系统成本。

本发明提供一种光波导多微流道检测系统，包括：微流体芯片、光谱收集装置和分析装置；其特征在于，

所述微流体芯片包括微流体组，所述微流体组包括第一数量的微流体；

所述微流体包括光波导组和微流道，所述光波导组包括第二数量的光波导，所述光波导用以将光沿水平方向导入所述微流道内；

所述光谱收集装置包括显微镜和测量装置，所述显微镜用于收集所述微流道内的光信号并向所述测量装置传输所述光信号，所述测量装置用以处理所述光信号并产生待分析信号并向所述分析装置传输所述待分析信号，所述分析装置分析所述待分析信号形成光谱；

所述微流体芯片还包括：依次由下而上设置的下包层、波导层、上包层和流道盖板，所述波导层是氮化硅材料，所述波导层用以形成所述光波导；

所述微流道由上而下贯穿所述上包层和所述波导层延伸进所述下包层；

所述流道盖板覆盖所述微流道上开口，所述微流道盖板包括用以向所述微流道注入含待检测生物分子溶液的注液口；

所述下包层是厚度为15～30μm高分子聚合材料，所述上包层是厚度为15～30μm的高分子聚合材料，所述微流道不贯穿所述下包层，所述微流道宽度为10-100μm。

优选地，所述光波导组包括第二数量相互平行的所述光波导，以将光导入所述微流道，所述光波导的宽度为300-600nm。

优选地，所述第二数量为1，所述微流体对应的整层或大部分所述波导层形成一个片状的所述光波导。

优选地，所述波导层厚度为150-1000nm。

优选地，所述光波导是耦合光波导；