[发明专利]等离子蚀刻的自动除粉装置及方法

说明书

本发明公开了一种等离子蚀刻的自动除粉装置，包括：蚀刻腔室，沿第一水平方向排列有多根用于输送基板的传动辊；除粉腔室，沿第一水平方向排列有多根用于输送基板的传动辊；活动闸板，设置于蚀刻腔室和除粉腔室之间，可隔离或连通蚀刻腔室和除粉腔室；毛刷组件，安装于除粉腔室内，与基板的表面接触，可相对基板沿第一水平方向往复移动；吹气口，设置于除粉腔室内，朝向基板的表面吹气；吸尘器，与除粉腔室相连通。本发明还公开了一种等离子蚀刻的自动除粉方法。在正常蚀刻作业时，打开活动闸板可连通蚀刻腔室和除粉腔室，将基板通过传动辊从蚀刻腔室输送到除粉腔室内，清理掉基板表面的残留粉尘，然后再将基板转移回蚀刻腔室，提高蚀刻效率。

技术领域

本发明涉及等离子蚀刻技术领域，特别涉及等离子蚀刻的自动除粉装置及方法。

背景技术

传统的等离子蚀刻在蚀刻有机物树脂材料的时候，当蚀刻到一定程度的时候，基板的表面会产生等离子气体和树脂材料化学反应后的残留粉尘，粉尘的产生会残留在基板的表面，受粉尘阻挡的影响，蚀刻速度严重下降，通常需要人工将基板拿出来，将其表面的残留粉尘清理掉，才能进一步进行蚀刻，如此反复操作严重影响了蚀刻效率。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明提出一种等离子蚀刻的自动除粉装置，能够有效地清理掉基板表面的残留粉尘，提高蚀刻效率。

本发明还提出一种等离子蚀刻的自动除粉方法。

根据本发明第一方面实施例的等离子蚀刻的自动除粉装置，包括：蚀刻腔室，沿第一水平方向排列有多根用于输送基板的传动辊；除粉腔室，沿第一水平方向排列有多根用于输送基板的传动辊；活动闸板，设置于所述蚀刻腔室和所述除粉腔室之间，可隔离或连通所述蚀刻腔室和所述除粉腔室；毛刷组件，安装于所述除粉腔室内，与所述基板的表面接触，可相对所述基板沿第一水平方向往复移动；吹气口，设置于所述除粉腔室内，朝向所述基板的表面吹气；吸尘器，与所述除粉腔室相连通。

至少具有如下有益效果：本除粉装置在正常蚀刻作业时，活动闸板隔离蚀刻腔室和除粉腔室，两者相互不受影响，当基板蚀刻到一定程度且表面被残留粉尘覆盖时，打开活动闸板以连通蚀刻腔室和除粉腔室，可将基板通过传动辊从蚀刻腔室输送到除粉腔室内，通过毛刷组件与基板的表面接触，并相对往复移动以将基板表面的粉尘清扫，结合吹气口朝向基板的表面吹气，从而将粉尘扬起，使脱离基板表面的粉尘能够被吸尘器吸走，从而有效地清理掉基板表面的残留粉尘，然后再将基板转移回蚀刻腔室以继续进行蚀刻，提高蚀刻效率。

根据本发明的一些实施例，多根所述传动辊可同步正转及同步反转，所述基板放置于所述传动辊上。

根据本发明的一些实施例，所述毛刷组件包括轮轴和毛刷轮，所述毛刷轮与轮轴旋转连接，所述轮轴固定安装于所述除粉腔室内。

根据本发明的一些实施例，所述毛刷组件包括轮轴和毛刷轮，所述毛刷轮与轮轴旋转连接，所述轮轴可在所述除粉腔室内沿第一水平方向往复移动。

根据本发明的一些实施例，所述吹气口连通压缩空气源。

根据本发明的一些实施例，所述毛刷组件和所述吹气口均分布于所述除粉腔室的顶部，所述吸尘器与所述除粉腔室的底部相连通。

根据本发明第二方面实施例的等离子蚀刻的自动除粉方法，包括以下步骤：步骤一、提供蚀刻腔室和除粉腔室，将待蚀刻的基板放置于所述蚀刻腔室内，隔离所述蚀刻腔室和所述除粉腔室；步骤二、蚀刻腔室对基板的表面进行蚀刻，当粉尘达到一定厚度时，停止蚀刻；步骤三、连通所述蚀刻腔室和所述除粉腔室，将基板从所述蚀刻腔室转移至所述除粉腔室内，然后隔离所述蚀刻腔室和所述除粉腔室；步骤四、提供毛刷组件和吹气口，通过毛刷组件与基板的表面接触并相对基板往复移动，以清扫基板表面的粉尘，同时吹气口朝向基板的表面吹气，将粉尘扬起；步骤五、提供吸尘器，将脱离基板表面的粉尘吸走；步骤六、将基板从所述除粉腔室转移至所述蚀刻腔室内；步骤七、重复步骤一至六，直至基板蚀刻完毕。