[其他]集成光学功能元件以及光学集成电路

权利要求书

1.集成光学功能元件(1)，包括衬底(2)，在所述衬底(2)上布置有具有第一折射率n1的聚合物层(3)，并且至少一个具有第二折射率n2的聚合物光波导(4)被嵌入所述聚合物层(3)中，使得所述聚合物光波导(4)与衬底(2)直接或间接接触，其特征在于，所述第二折射率n2大于所述第一折射率n1，且所述衬底(2)的材料在-10℃至40℃的温度范围内的热膨胀系数小于0.05×10E-6/K。

2.根据权利要求1所述的集成光学功能元件，其特征在于，所述衬底(2)包括具有各向同性特性的无机材料。

3.根据权利要求1或2所述的集成光学功能元件，其特征在于，所述衬底(2)的材料具有第三折射率n3，所述第三折射率n3小于或等于所述第一折射率n1并且小于所述第二折射率n2。

4.根据权利要求1或2所述的集成光学功能元件，其特征在于，由聚合物材料制成的中间层(5)布置在所述衬底(2)和所述聚合物层(3)之间。

5.根据权利要求4所述的集成光学功能元件，其特征在于，所述中间层(5)的聚合物材料具有第四折射率n4，所述第四折射率n4小于所述第一折射率n1且小于或等于所述第二折射率n2。

6.根据权利要求1或2所述的集成光学功能元件，其特征在于，所述聚合物层(3)的厚度与所述衬底(2)的厚度之比在1:40至1:1000之间。

7.根据权利要求1或2所述的集成光学功能元件，其特征在于，所述第二折射率n2与所述第一折射率n1偏离至少0.001的值。

8.根据权利要求1或2所述的集成光学功能元件，其特征在于，所述第二折射率n2与所述第一折射率n1偏离至少0.05的值。

9.光学集成电路，其具有根据前述权利要求中的任一项所述的集成光学功能元件。

10.根据权利要求9所述的光学集成电路，其特征在于，所述光学集成电路是干涉仪的形式。

11.根据权利要求9所述的光学集成电路，其特征在于，所述光学集成电路是双迈克尔逊干涉仪的形式。