[其他]气体色谱检测器和气体分析系统

权利要求书

1.一种气体色谱检测器，包括：

纳米机电系统型的谐振器，其配置在适于循环源自色谱柱的分析物的流体导管中，所述谐振器包括功能层，

读取装置，其构造成使所述谐振器以其谐振频率振动，并且测量所述谐振频率在所述功能层吸附或解吸所述分析物的影响下的变化，

其特征在于，所述气体色谱检测器包括在其中封装所述谐振器的腔室，所述腔室包括所述流体导管的入口孔口和出口孔口以及构造成根据所定的温度曲线改变所述腔室内的温度的温度调控单元。

2.根据权利要求1所述的气体色谱检测器，其特征在于，所述温度调控单元包括加热元件。

3.根据权利要求1所述的气体色谱检测器，其特征在于，所述温度调控单元包括冷却系统。

4.根据权利要求3所述的气体色谱检测器，其特征在于，所述冷却系统包括风扇或珀尔贴单体。

5.根据权利要求3所述的气体色谱检测器，其特征在于，所述冷却系统包括流体冷却回路。

6.根据权利要求1-5中任一项所述的气体色谱检测器，其特征在于，所述温度调控单元适于将所述腔室内的温度调控至介于20℃与350℃之间的温度。

7.根据权利要求1-5中任一项所述的气体色谱检测器，其特征在于，进一步包括压力计，其配置在所述流体导管中，处于所述谐振器的上游或下游。

8.根据权利要求7所述的气体色谱检测器，其特征在于，所述压力计配置在所述腔室内。

9.根据权利要求7所述的气体色谱检测器，其特征在于，所述压力计配置在所述腔室外。

10.根据权利要求1-5中任一项所述的气体色谱检测器，其特征在于，所述谐振器配置在印刷电路的一部分上，该部分由陶瓷或聚酰亚胺制成，所述腔室包括孔口，该孔口适于向所述腔室中插入所述印刷电路的一部分，该部分包括所述谐振器。

11.根据权利要求1-5中任一项所述的气体色谱检测器，其特征在于，所述谐振器包括由掺杂硅制成的梁。

12.根据权利要求1-5中任一项所述的气体色谱检测器，其特征在于，所述功能层包括SiOC层。

13.根据权利要求1-5中任一项所述的气体色谱检测器，其特征在于，所述流体导管包括：配置在基板中的腔体，所述谐振器延伸到其中；和两个毛细管，它们通向所述腔体中并分别延伸穿过所述腔室的入口孔口和出口孔口。

14.根据权利要求1-5中任一项所述的气体色谱检测器，其特征在于，进一步包括处理系统，其构造成从通过读取装置测得的所述谐振器的反应的基线减去所述谐振器的被称为空白反应的反应的基线，所述空白反应是对于所述腔室内的相同温度曲线在没有流体在所述流体导管中循环的情况下提前测得的。

15.根据权利要求1-5中任一项所述的气体色谱检测器，其特征在于，进一步包括至少一个第二谐振器，其被称为参考谐振器，封装在所述腔室中处于所述样本在其中循环的流体导管外，所述读取装置构造成使所述谐振器中的每个以其谐振频率振动，并且测量所述谐振器中的每个的谐振频率的变化，所述气体色谱检测器进一步包括处理系统，其构造成从所述谐振器的暴露于所述样本的响应信号减去所述参考谐振器的响应信号。

16.根据权利要求1-5中任一项所述的气体色谱检测器，其特征在于，所述读取装置进一步构造成测量所述谐振器的谐振幅度的变化。