[发明专利]用于保护加热部件和检测状态的空化板

权利要求书

1.一种流体装置，包括：

流体腔室，其中，流体被暂时容纳在所述流体腔室中；

加热部件，其产生热，以在所述流体腔室中容纳的所述流体中形成驱动气泡；以及

空化板，其设置在所述流体腔室和所述加热部件之间，所述空化板与所述流体腔室连通，并使所述流体腔室与所述加热部件物理分离，以保护所述加热部件，其中，控制器基于从所述空化板接收的电信号来确定所述流体腔室中的状态。

2.根据权利要求1所述的流体装置，其中，所述流体腔室中的所述状态是在所述流体中产生所述驱动气泡期间或之后所述流体腔室内部的性质。

3.根据权利要求1所述的流体装置，其中，所述加热部件包括金属层和耦接到所述金属层的电阻元件，并且其中，所述电阻元件通过接收来自所述金属层的电流来产生热。

4.根据权利要求3所述的流体装置，其中，所述金属层包括设置在所述流体腔室所在的第一区域中的第一部分以及设置在与所述第一区域相邻的第二区域中的第二部分，并且其中，所述空化板与所述第一区域中的所述金属层重叠。

5.根据权利要求4所述的流体装置，还包括介电层，所述空化板被设置在所述介电层和所述金属层之间，其中，所述介电层与所述第二区域中的所述金属层重叠，并且不与所述第一区域中的所述金属层重叠。

6.根据权利要求4所述的流体装置，其中，所述金属层的所述第一部分具有规定形状，并且所述空化板具有与所述金属层的所述规定形状相对应的规定形状。

7.根据权利要求4所述的流体装置，其中，所述金属层的所述第一部分具有规定宽度，并且所述第一区域中的所述空化板具有比所述金属层的所述第一部分的所述规定宽度大的规定宽度。

8.根据权利要求1所述的流体装置，还包括：

第二流体腔室，其中，所述流体被暂时容纳在所述第二流体腔室中；

第二加热部件，其产生热，以在所述第二流体腔室中容纳的所述流体中形成驱动气泡；以及

与所述第二流体腔室连通的第二空化板，所述第二空化板与所述空化板物理分离。

9.根据权利要求8所述的流体装置，其中，所述空化板与所述第二空化板共面。

10.根据权利要求1所述的流体装置，其中，所述空化板由钽形成。

11.一种打印头，包括：

暂时容纳流体的多个流体腔室；

由多个加热部件形成的金属层，其中，所述多个加热部件中的每一个产生热，以在所述多个流体腔室中的相应流体腔室中容纳的所述流体中形成驱动气泡；以及

设置在所述多个流体腔室和所述金属层之间的空化板层，所述空化板层包括多个空化板，其中，所述多个空化板中的每个空化板与所述多个流体腔室中的相应流体腔室连通，并且被实施为检测所述相应流体腔室中的状态。

12.根据权利要求11所述的打印头，其中，所述多个空化板中的每一个彼此物理分离，其中，所述多个加热部件中的每一个彼此物理分离，并且其中，所述多个空化板中的每一个与所述金属层的所述多个加热部件中相对应的一个重叠。

13.根据权利要求11所述的打印头，其中，通过每个空化板检测的所述相应流体腔室中的所述状态是在所述流体中产生所述驱动气泡期间所述相应流体腔室内部的性质。