[发明专利]线放电加工机

说明书

在并列的各线电极(1)和被加工物(4)之间，在加工液(25)中使放电发生，由此将被加工物(4)切断的线放电加工机(100)，具有：加工槽(16)，其储存加工液(25)；Z轴工作台(17)，其配置于加工槽(16)的下部，使被加工物(4)在铅垂方向即Z轴方向移动；柱构造(21)，其从Z轴工作台(17)向上方延伸，上端部与加工槽(16)内的加工液(25)的液面的最高位相比位于上方；调整机构(22)，其从柱构造(21)之中的与液面的最高位相比位于上方的部分朝向下方设置，与液面的最高位相比配置于上方，对铅垂方向以外的方向上的被加工物(4)的位置或姿态进行调整；以及悬挂部，其从调整机构(22)悬挂，对被加工物(4)进行保持。

技术领域

本发明涉及在平行张设的多个线电极和被加工物之间使放电发生，由此将被加工物同时切断为多片的线放电加工机。

背景技术

在平行张设的线电极和被加工物之间，在加工液中使放电发生，由此将被加工物同时切断为多片的线放电加工机，为了将被加工物在指定出的晶体方位切断，具有在除了铅垂方向以外的方向用于使被加工物移动的调整机构或用于改变被加工物的姿态的调整机构。下面，将两者汇总而称为调整机构。

被加工物需要浸渍于充满加工液的加工槽内，调整机构也同样地需要浸渍于加工液内。但是，在使调整机构浸渍于加工液的情况下，难以仅将可动部分设为防水构造，因此需要将调整机构整体设为防水构造。难以将复杂的调整机构整体设为防水构造，导致成本的增加。此外，即使将调整机构由不锈钢这样的防生锈材料制作，在浸渍于加工液的环境下，仍避免不了表面氧化、电解腐蚀及生锈的附着，耐久性降低。因此，在使调整机构浸渍于加工液的情况下，产生成本的增加及耐久性的降低的问题。

在专利文献1中公开了一种线锯，其在被加工物支撑机构的下部安装被加工物，一边使线行进一边向该线上供给加工液，在该状态下通过被加工物支撑机构将被加工物向线推压而使其接触，进行被加工物的切断。如果将在专利文献1中公开的机构应用于线放电加工机，则能够将调整机构配置于加工槽的外部，无需将调整机构设为防水构造。

专利文献1：日本特开2002－337137号公报

发明内容

在铅垂方向使被加工物移动的Z轴移动机构如专利文献1那样为柱式的情况下，难以设为防水构造，无法配置在加工槽中，因此不得不配置于加工槽的外部。但是，加工槽的尺寸依赖于在加工槽内配置的引导辊这样的放电加工所需的各种构造部件的大小。因此，将Z轴移动机构配置于加工槽的外部，并不能够单纯地减小加工槽，加工槽需要设为一定值以上的大小。因此，如果将在专利文献1中公开的发明应用于线放电加工机，则Z轴移动机构配置于加工槽的外部，由此作为装置整体而大型化。因此，即使将在专利文献1中公开的发明应用于线放电加工机，也无法实现不需要将调整机构设为防水构造、且抑制了大型化的线放电加工机。

本发明就是鉴于上述情况而提出的，其目的在于，得到无需将调整机构设为防水构造，并且能够抑制装置的大型化的线放电加工机。

为了解决上述的课题，达到目的，本发明是一种线放电加工机，其具有在多个引导辊将线电极平行张设而并列地配置有线电极的切断线部，在并列的各线电极和被加工物之间在加工液中使放电发生，由此将被加工物切断，该线放电加工机具有：加工槽，其储存加工液；Z轴移动机构，其配置于加工槽的下部，使被加工物在铅垂方向即Z轴方向移动；以及柱构造，其从Z轴移动机构向上方延伸，上端部与加工槽内的加工液的液面的最高位相比位于上方。本发明具有：至少一个调整机构，其从柱构造之中的与液面的最高位相比位于上方的部分朝向下方设置，与液面的最高位相比配置于上方，对铅垂方向以外的方向上的被加工物的位置或姿态进行调整；以及悬挂部，其从调整机构悬挂，对被加工物进行保持。

发明的效果

本发明所涉及的线放电加工机具有下述效果，即，无需将调整机构设为防水构造，并且能够抑制装置的大型化。

附图说明