[发明专利]使用多光谱3D激光扫描的对象检查的系统和方法

权利要求书

1.一种用于获得对象的高分辨率3D图像的系统，包括：

a)在第一位置处的第一相机；

b)在第二位置处的第二相机；

c)在第三位置处的第三相机；

d)红色激光光源；

e)蓝色激光光源；

f)绿色激光光源；以及

g)处理单元，

其中，所述第一相机拍摄所述对象的第一彩色图像，并且所述处理器使用所述红色激光光源将所述第一彩色图像分离为第一单色图像、使用所述蓝色激光光源将所述第一彩色图像分离为第二单色图像并且使用所述绿色激光光源将所述第一彩色图像分离为第三单色图像，

其中，所述第二相机拍摄所述对象的第二彩色图像，并且所述处理器使用所述红色激光光源将所述第二彩色图像分离为第四单色图像、使用所述蓝色激光光源将所述第二彩色图像分离为第五单色图像并且使用所述绿色激光光源将所述第二彩色图像分离为第六单色图像，

其中，所述第三相机拍摄所述对象的第三彩色图像，并且所述处理器使用所述红色激光光源将所述第三彩色图像分离为第七单色图像、使用所述蓝色激光光源将所述第三彩色图像分离为第八单色图像并且使用所述绿色激光光源将所述第三彩色图像分离为第九单色图像，并且

其中，所述处理单元将所述第一单色图像、所述第二单色图像、所述第三单色图像、所述第四单色图像、所述第五单色图像、所述第六单色图像、所述第七单色图像、所述第八单色图像和所述第九单色图像组合成所述对象的单个高分辨率3D图像。

2.根据权利要求1所述的系统，其中，所述红色激光光源、所述蓝色激光光源和所述绿色激光光源在y轴和z轴上对准到彼此不同的点处。

3.根据权利要求1所述的系统，其中，所述处理器通过三角测量使用所述第一单色图像、所述第二单色图像、所述第三单色图像、所述第四单色图像、所述第五单色图像、所述第六单色图像、所述第七单色图像、所述第八单色图像和所述第九单色图像来生成九个深度中九行的图。

4.根据权利要求1所述的系统，其中，所述处理器基于点云数据生成第一深度图、第二深度图、第三深度图、第四深度图、第五深度图、第六深度图、第七深度图、第八深度图和第九深度图。

5.根据权利要求1所述的系统，其中，所述第一相机、所述第二相机和所述第三相机在y轴和z轴上对准到彼此不同的点处。

6.根据权利要求4所述的系统，其中，所述第一深度图、所述第四深度图和所述第七深度图在所述x轴上彼此对准；

其中，所述第二深度图、所述第五深度图和所述第八深度图在所述x轴上彼此对准；并且

其中，所述第三深度图、所述第六深度图和所述第九深度图在所述x轴上彼此对准。

7.根据权利要求1所述的系统，其中，所述对象的表面由多于一种材料组成，每种材料具有不同的光反射特性。

8.根据权利要求1所述的系统，其中，所述对象是晶片或集成电路(IC)封装。

9.根据权利要求1所述的系统，其中，具有已知尺寸的校准夹具用于定位和/或校准所述红色激光光源、所述绿色激光光源和所述蓝色激光光源的位置。