[发明专利]电子组件

说明书

电子组件包括：压电衬底(1)以及在压电衬底顶部上的叉指式电容器(2)。叉指式电容器包括两个电极(21、22)，两个电极中的每一个包括多个指状件(23)。指状件各自包括相关联的第一金属层(231)并且指状件中的至少一些包括在第一金属层的顶部上的相关联的第二金属层(232)。对于包括第一金属层和第二金属层的每个指状件，指状件在相关联的第一金属层的区域中的宽度大于指状件在相关联的第二金属层的区域中的宽度。

技术领域

限定了一种电子组件。

背景技术

要实现的一个目标是限定一种性能非常稳定的电子组件。

发明内容

该目的具体地利用独立权利要求的主题来实现。有利的实施例和进一步发展是从属权利要求的主题。

根据至少一个实施例，电子组件包括压电衬底和在压电衬底顶部上的叉指式电容器。叉指式电容器包括两个电极，两个电极中的每一个包括多个指状件。指状件各自包括相关联的第一金属层，并且指状件中的至少一些包括在第一金属层的顶部上的相关联的第二金属层。对于包括第一金属层和第二金属层的每个指状件，指状件在相关联的第一金属层的区域中的宽度大于指状件在相关联的第二金属层的区域中的宽度。

本发明具体地基于以下想法：当被提供交流电压时，压电衬底上的叉指式电容器可能产生不需要的表面声波(SAW)。通过为指状件中的一些指状件提供宽度小于第一金属层的第二金属层，沿压电衬底表面的质量负荷被改变。与针对所有指状件仅使用第一金属层的情况相比，这阻碍了指状件的振荡激发。因此，表面声波的激发被抑制。此外，利用附加的第二金属层，欧姆损耗被降低，使得品质因数Q被改进。

电子组件优选地是电子芯片。电子组件可以包括如上文所指定和如下所指定的一个或多个叉指式电容器。

压电衬底包括压电材料或者由压电材料组成，压电材料诸如为钽酸锂、铌酸锂或石英。压电衬底可以是自支撑的。特别地，压电材料可以作为块状材料提供。

在电子组件中，电容器被用于例如阻抗匹配。叉指式电容器是如下的电容器，其中两个电极各自包括以梳状方式布置的指状件。电极的指状件通过母线彼此电连接。例如，叉指式电容器的每个电极包括至少两个指状件或至少四个指状件。

两个电极均位于压电衬底的顶侧上。每个指状件具有沿指状件的主延伸方向测量的长度以及垂直于指状件的主延伸方向测量的宽度。长度和宽度均平行于压电衬底的顶侧而测量。指状件优选地彼此平行或基本平行地延伸。

对于每个指状件，指状件的长度大于指状件的宽度。例如，每个指状件的长度比其宽度大至少两倍或者至少五倍或者至少十倍。在此处和在下文中，术语“长度”、“宽度”和“厚度”优选地对应于平均值。

第一电极的指状件和第二电极的指状件交叉但彼此电隔离。换言之，第一电极的指状件和第二电极的指状件沿着与指状件的主延伸方向垂直的方向交替。在正常操作期间，叉指式电容器的电极优选地处于不同的电位并且例如被提供有交流电压。

指状件各自包括相关联的第一金属层。对于每个指状件，相关联的第一金属层优选地连续地和/或整体地形成。第一金属层优选地与压电衬底的顶侧直接接触。具体地，第一金属层与压电衬底的压电材料直接接触。例如，第一金属层包括铜、钛或铝或者由铜、钛或铝组成。电极的指状件的第一金属层可以是连续的和/或可以一体形成。

对于每个指状件，相关联的第一金属层的区域中的宽度是例如至少1μm或至少5μm或至少10μm。备选地或附加地，在每种情况下指状件在相关联的第一金属层的区域中的宽度为至多100μm或者至多50μm或者至多30μm。对于每个指状件，第一金属层的区域中的宽度优选地在制造公差的极限内恒定。对于所有指状件，指状件在第一金属层的区域中的宽度优选地在制造公差极限内均相同。在每种情况下，第一金属层优选地在相关联的指状件的整个长度之上延伸。