[发明专利]电声谐振器和RF滤波器

权利要求书

1.一种电声谐振器，包括

·压电材料，具有压电轴，

·传播方向，

·电极结构，具有带有两个汇流条和电极指的IDT部分，

其中

·所述电极指垂直于所述传播方向延伸，

·所述IDT部分是倾斜的，

·倾斜的所述IDT部分相对于所述压电轴旋转。

2.根据前述权利要求所述的谐振器，其中

·所述汇流条沿着相对于所述传播方向旋转角度α1的倾斜方向延伸，

·-15°≤α1≤15°。

3.根据前述权利要求之一所述的谐振器，还包括具有两个汇流条和电极指的第二IDT部分。

4.根据前述权利要求所述的谐振器，其中所述第二IDT部分的所述汇流条

·沿着相对于所述传播方向旋转角度α2的倾斜方向延伸，并且-15°≤α2≤155°

或者

·与所述传播方向平行。

5.根据前述权利要求之一所述的谐振器，是旋转锯齿形倾斜谐振器。

6.根据前述权利要求所述的谐振器，具有对称锯齿形图案。

7.根据前述权利要求之一所述的谐振器，包括两个倾斜的IDT部分和在横向方向上布置在所述IDT部分旁边的阻抗元件。

8.根据前述权利要求之一所述的声谐振器，选自SAW谐振器、TC-SAW谐振器、GBAW谐振器、TF-SAW谐振器。

9.根据前述权利要求之一所述的电声谐振器，其中所述电极结构选自未加权换能器、变迹换能器、倾斜换能器、断裂倾斜换能器、锯齿形倾斜换能器。

10.根据前述权利要求之一所述的电声谐振器，选自单端口谐振器、两端口谐振器、DMS谐振器。

11.一种电声滤波器，包括根据前述权利要求之一所述的谐振器。

12.根据前述权利要求所述的RF滤波器，具有梯形拓扑或格型拓扑。

13.根据前述权利要求之一所述的RF滤波器，还包括非倾斜和/或相对于所述压电轴的非旋转谐振器。