[发明专利]研磨夹具、研磨装置及研磨方法

权利要求书

1.一种研磨夹具，保持由成形加工工具对螺纹槽进行磨削加工而进行研磨精加工的滚珠丝杠螺母，所述成形加工工具一边绕沿第一方向延伸的旋转中心轴旋转，一边沿所述第一方向往复移动，所述研磨夹具的特征在于，具备：

夹具基座，固定地配置在所述旋转中心轴上；及

仿形保持部，安装于所述夹具基座，一边仿照所述成形加工工具的外侧面中的与所述螺纹槽滑动接触而对所述螺纹槽进行磨削加工的加工区域来改变所述滚珠丝杠螺母相对于所述夹具基座的姿势，一边保持所述滚珠丝杠螺母。

2.根据权利要求1所述的研磨夹具，其中，

所述仿形保持部具有：螺母保持部件，保持所述滚珠丝杠螺母；及万向接头机构，使所述螺母保持部件绕与所述第一方向交叉的第二方向且绕与所述第一方向和所述第二方向交叉的第三方向摆动，来改变所述滚珠丝杠螺母相对于所述旋转中心轴的倾斜。

3.根据权利要求2所述的研磨夹具，其中，

所述万向接头机构具有：

可动框；

第一摆动支轴，在所述夹具基座与所述可动框之间设置于在所述第二方向上分离的两个部位，并将所述可动框相对于所述夹具基座以绕所述第二方向摆动自如的方式进行支承；及

第二摆动支轴，在所述可动框与所述螺母保持部件之间设置于在所述第三方向上分离的两个部位，并将所述螺母保持部件相对于所述可动框以绕所述第三方向摆动自如的方式进行支承。

4.根据权利要求3所述的研磨夹具，其中，

所述第一摆动支轴与所述可动框一体地相对于所述夹具基座在所述第二方向上滑动自如地设置。

5.根据权利要求3或4所述的研磨夹具，其中，

所述第二摆动支轴与所述螺母保持部件一体地相对于所述可动框在所述第三方向上滑动自如地设置。

6.根据权利要求1所述的研磨夹具，其中，

所述仿形保持部具有：螺母保持部件，保持所述滚珠丝杠螺母；及移动机构，使所述螺母保持部件沿与所述第一方向交叉的第二方向及与所述第一方向和所述第二方向交叉的第三方向移动，来使包含所述第二方向和所述第三方向的平面内的所述滚珠丝杠螺母的位置位移移动。

7.根据权利要求2至6中任一项所述的研磨夹具，其中，

所述第二方向是与所述第一方向正交的方向，

所述第三方向是与所述第一方向和所述第二方向正交的方向。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的研磨夹具，其中，

所述研磨夹具还具备模式切换机构，该模式切换机构对初始设定模式和仿形设定模式进行切换，所述初始设定模式是将保持于所述仿形保持部的所述滚珠丝杠螺母相对于所述夹具基座定位于预先设定的初始位置并且限制所述滚珠丝杠螺母的位移的模式，所述仿形设定模式是解除所述滚珠丝杠螺母的位移的限制而容许所述滚珠丝杠螺母的姿势的变化的模式。

9.一种研磨装置，利用具有沿第一方向延伸的轴体结构的成形加工工具对滚珠丝杠螺母的螺纹槽进行磨削加工而进行研磨精加工，其特征在于，具备：

权利要求1至8中任一项所述的研磨夹具；及

工具驱动部，一边使所述成形加工工具绕沿所述第一方向延伸的旋转中心轴旋转，一边使所述成形加工工具相对于保持于所述研磨夹具的所述滚珠丝杠螺母沿所述第一方向往复移动。

10.一种研磨方法，利用具有沿第一方向延伸的轴体结构的成形加工工具对滚珠丝杠螺母的螺纹槽进行磨削加工而进行研磨精加工，其特征在于，包含：

第一工序，利用权利要求1至8中任一项所述的研磨夹具保持所述滚珠丝杠螺母；及

第二工序，一边使所述成形加工工具绕沿所述第一方向延伸的旋转中心轴旋转，一边使所述成形加工工具相对于保持于所述研磨夹具的所述滚珠丝杠螺母沿所述第一方向往复移动。

11.根据权利要求10所述的研磨方法，其中，

所述第一工序是在所述第一方向上的所述滚珠丝杠螺母的一个端面朝向所述成形加工工具的状态下保持所述滚珠丝杠螺母的工序，

所述第二工序包含：

在所述滚珠丝杠螺母的一个端面朝向所述成形加工工具的状态下使所述成形加工工具往复移动的工序；

使所述研磨夹具翻转而以所述第一方向上的所述滚珠丝杠螺母的另一端面朝向所述成形加工工具的方式对所述研磨夹具进行定位的工序；及

在所述滚珠丝杠螺母的所述另一端面朝向所述成形加工工具的状态下使所述成形加工工具往复移动的工序。