[发明专利]激光加工机及激光加工方法

权利要求书

1.一种激光加工机，其特征在于，具备：

加工头，其射出激光束；

集光镜，其使上述激光束会聚并向金属板照射而在上述金属板的表面上形成束点；

移动机构，其沿着上述金属板的表面，使上述加工头相对于上述金属板相对移动；

光束振动机构，其在一边通过上述移动机构使上述加工头相对移动一边向上述金属板照射上述激光束来切断上述金属板时，使上述激光束振动；

焦点移动机构，其使向上述金属板照射的上述激光束的焦点在与上述金属板的表面正交的正交方向上移动；

焦点位置控制部，为了使上述焦点位于上述正交方向的预定位置，控制上述焦点移动机构；以及

光束振动机构控制部，其在上述焦点位置控制部控制上述焦点移动机构以改变上述焦点的上述正交方向的位置时，根据上述焦点的上述正交方向的位置，控制上述光束振动机构，以改变使上述激光束振动的振幅。

2.根据权利要求1所述的激光加工机，其特征在于，

还具备数据保持部，该数据保持部保持表示与上述激光束的行进方向的位置相对应的光束直径的光束轮廓数据，

上述光束振动机构控制部参照上述光束轮廓数据决定使上述激光束振动的振幅。

3.根据权利要求2所述的激光加工机，其特征在于，

将上述焦点位于上述正交方向的基准位置时上述光束振动机构使上述激光束振动的振幅设定为基准振幅，

基于上述光束轮廓数据，在上述焦点位于上述基准位置时的上述金属板的表面上的束点的光束直径为第一光束直径，上述焦点位于上述基准位置以外的预定位置时的上述金属板的表面上的束点的光束直径为第二光束直径时，上述光束振动机构控制部控制上述光束振动机构，以便在上述激光束的焦点位于上述基准位置以外的预定位置时，使上述激光束以从上述基准振幅减去差值而得到的振幅振动，上述差值是从上述第二光束直径减去上述第一光束直径而得到的值。

4.一种激光加工方法，其特征在于，

向金属板的表面照射由集光镜会聚的激光束；

为了切断上述金属板，使激光束相对于上述金属板的表面的照射位置相对移动；

在切断上述金属板时，使上述激光束以预定振动模式振动；

在使上述激光束的焦点在与上述金属板的表面正交的正交方向上移动时，根据上述焦点的上述正交方向的位置，改变使上述激光束以上述振动模式振动的振幅。

5.根据权利要求4所述的激光加工方法，其特征在于，

参照存储于数据保持部的、表示与上述激光束的行进方向的位置相对应的光束直径的光束轮廓数据，决定使上述激光束振动的振幅。

6.根据权利要求5所述的激光加工方法，其特征在于，

将上述焦点位于上述正交方向的基准位置时的上述振动模式的振幅设定为基准振幅，

基于上述光束轮廓数据，在上述焦点位于上述基准位置时的上述金属板的表面上的束点的光束直径为第一光束直径，上述焦点位于上述基准位置以外的预定位置时的上述金属板的表面上的束点的光束直径为第二光束直径时，在上述焦点位于上述基准位置以外的预定位置时，使上述激光束以从上述基准振幅减去差值而得到的振幅振动，上述差值是从上述第二光束直径减去上述第一光束直径而得到的值。