[发明专利]改进的立体光刻技术及相关系统和方法有效
申请号: | 201980051116.9 | 申请日: | 2019-05-31 |
公开(公告)号: | CN112512779B | 公开(公告)日: | 2023-02-14 |
发明(设计)人: | 马克西姆·洛博夫斯基;沙恩·怀顿;詹姆斯·卢米斯;贺然;本杰明·弗朗茨达莱;德米特里·梅格列茨基;杰克·莫尔戴夫;斯科特·约翰斯通;萨拉·本内森;罗伯特·乔基姆;克里斯蒂安·里德;大卫·普赖斯;安德鲁·M·戈德曼;康斯坦丁诺斯·伊科诺穆普洛斯 | 申请(专利权)人: | 福姆实验室公司 |
主分类号: | B29C64/10 | 分类号: | B29C64/10;B29C64/00;B33Y10/00;B33Y30/00 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 蔡胜有;苏虹 |
地址: | 美国马*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 改进 立体 光刻 技术 相关 系统 方法 | ||
1.一种增材制造装置,所述增材制造装置被配置成在构建平台上形成固体材料层,每个材料层形成为接触容器以及所述构建平台的表面和/或在先形成的材料层,所述增材制造装置包括:
具有包括柔性膜的底部的容器;
能量源,所述能量源被布置在所述容器的下方并且被配置成引导光化辐射穿过所述容器的所述柔性膜;以及
可移动台,所述可移动台被布置在所述容器的下方并且包括分段构件,所述分段构件包括沿着公共轴取向的复数个段,所述可移动台被配置成相对于所述容器移动,其中至少一个分段构件在所述移动期间保持与所述容器的所述柔性膜接触。
2.根据权利要求1所述的增材制造装置,其中所述复数个段为复数个辊。
3.根据权利要求1所述的增材制造装置,其中所述复数个段包括第一段、第二段和第三段,以及其中所述第二段被布置在所述第一段与所述第三段之间。
4.根据权利要求3所述的增材制造装置,其中所述第二段被布置成接触所述第一段和所述第三段。
5.根据权利要求3所述的增材制造装置,其中所述第二段不接触所述第一段或所述第三段中任一者。
6.根据权利要求1所述的增材制造装置,其中所述复数个段包括至少三个段。
7.根据权利要求1所述的增材制造装置,其中所述可移动台包括保持结构,所述复数个段被容纳在所述保持结构中而不附接至所述保持结构。
8.根据权利要求7所述的增材制造装置,其中所述复数个段中的每一者的小于一半延伸到所述保持结构的外部。
9.根据权利要求1所述的增材制造装置,其中所述分段构件为第一分段构件,以及其中所述可移动台还包括平行于所述第一分段构件布置的第二分段构件。
10.根据权利要求9所述的增材制造装置,其中所述第一分段构件被布置成在构建方向上高于所述第二分段构件。
11.根据权利要求1所述的增材制造装置,其中所述能量源被安置在所述可移动台内。
12.根据权利要求1所述的增材制造装置,还包括张紧装置,所述张紧装置被配置成在垂直于所述分段构件的所述公共轴的方向上向所述柔性膜施加张力。
13.根据权利要求1所述的增材制造装置,其中所述复数个段包括复数个金属圆柱体。
14.根据权利要求1所述的增材制造装置,其中柔性膜为第一柔性膜,其中所述容器的所述底部包括第二柔性膜,以及其中所述第一柔性膜被布置在所述可移动台与所述第二柔性膜之间。
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