[发明专利]用于分配多组分材料的系统和方法

权利要求书

1.一种用于将包括至少第一材料和第二材料的混合材料分配到衬底上的方法，所述方法包括：

接收分配操作参数；

以第一材料流速从第一泵分配第一材料并确定所分配的第一材料的量；

以第二材料流速从第二泵分配第二材料并确定所分配的第二材料的量；

基于所分配的第一材料和第二材料的所确定的量，将所述第一材料的分配自动地调整至调整后的第一材料流速并且将所述第二材料的分配自动地调整至调整后的第二材料流速；

以所述调整后的第一材料流速从所述第一泵泵送所述第一材料；

以所述调整后的第二材料流速从所述第二泵泵送所述第二材料；

在混合器的腔室内混合所述第一材料和所述第二材料以形成所述混合材料；以及

将所述混合材料从分配喷嘴分配到所述衬底上。

2.根据权利要求1所述的方法，其中：

确定所分配的第一材料的所述量包括使用称重仪确定所分配的第一材料的所述量；并且

确定所分配的第二材料的所述量包括使用所述称重仪确定所分配的第二材料的所述量。

3.根据权利要求1所述的方法，其中接收所述分配操作参数包括接收所述第一泵的第一泵常数、所述第二泵的第二泵常数和所述第一材料与所述第二材料的目标混合比率。

4.根据权利要求3所述的方法，还包括：

基于所接收的分配操作参数来确定所述第一泵的第一操作速度和所述第二泵的第二操作速度，其中：

以所述第一材料流速从所述第一泵分配所述第一材料包括以所述第一泵的所述第一操作速度操作所述第一泵，并且

以所述第二材料流速从所述第二泵分配所述第二材料包括以所述第二泵的所述第二操作速度操作所述第二泵。

5.根据权利要求4所述的方法，其中分配所述第一材料是在第一测量周期内执行的，并且分配所述第二材料是在第二测量周期内执行的，第一测量周期的持续时间等于所述第二测量周期的持续时间。

6.根据权利要求5所述的方法，还包括：

基于在所述第一测量周期内分配的所述第一材料的所确定的量和在所述第二测量周期内分配的所述第二材料的所确定的量来确定所述第一材料与所述第二材料的操作混合比率；以及

确定所述操作混合比率在预定比率控制范围之外，

其中响应于确定所述操作混合比率在所述预定比率控制范围之外，自动地调整所述第一材料和所述第二材料的分配。

7.根据权利要求6所述的方法，其中接收所述分配操作参数包括接收所述第一材料的密度和所述第二材料的密度。

8.根据权利要求7所述的方法，其中所述目标混合比率是质量比率，并且所述方法还包括根据所述质量比率以及所述第一材料和所述第二材料的所述密度来确定体积目标混合比率，其中所述第一泵的所述第一操作速度和所述第二泵的所述第二操作速度进一步基于所确定的体积目标混合比率。

9.根据权利要求7所述的方法，其中所述目标混合比率是体积比率。

10.根据权利要求7所述的方法，还包括根据所述调整后的第一材料流速和所述调整后的第二材料流速来确定目标混合材料流速。

11.根据权利要求10所述的方法，还包括：

确定操作混合材料流速；以及

将所述操作混合材料流速与所述目标混合材料流速进行比较。

12.根据权利要求11所述的方法，还包括确定所述操作混合材料流速在预定流速控制范围之外并且指示系统错误。

13.根据权利要求11所述的方法，还包括确定所述操作混合材料流速在预定流速控制范围内，以及基于所述操作混合材料流速和待分配到所述衬底上的所述混合材料的预定量来校准分配协议。