[发明专利]热式流量计

权利要求书

1.一种热式流量计，其基于分别配置于发热体的上游侧和下游侧的上游侧温度传感器与下游侧温度传感器的温度差来测定气体的流量，该热式流量计的特征在于，具备：

检测元件，其单独地输出所述上游侧温度传感器的输出信号和所述下游侧温度传感器的输出信号；

补偿部，其对所述上游侧温度传感器的输出信号和所述下游侧温度传感器的输出信号单独地进行响应补偿；

第1模拟数字转换器，其对所述上游侧温度传感器的输出信号进行AD转换，并输出至所述补偿部；以及

第2模拟数字转换器，其对所述下游侧温度传感器的输出信号进行AD转换，并输出至所述补偿部，

所述补偿部具备响应补偿部和线性化部，

所述响应补偿部由具有固定的频率特性的响应补偿电路实现，对所述上游侧温度传感器的输出信号和所述下游侧温度传感器的输出信号单独地进行响应补偿，

所述线性化部由二维映射图构成，使响应补偿后的所述上游侧温度传感器的输出信号和所述下游侧温度传感器的输出信号单独地线性化。

2.根据权利要求1所述的热式流量计，其特征在于，

所述上游侧温度传感器以及所述下游侧温度传感器为感热电阻或者热电偶。

3.根据权利要求1所述的热式流量计，其特征在于，

所述检测元件具备：第1固定电阻，其与所述上游侧温度传感器串联地连接，并与接地电位连接；以及第2固定电阻，其与所述下游侧温度传感器串联地连接，并与接地电位连接。

4.根据权利要求3所述的热式流量计，其特征在于，

所述上游侧温度传感器的形状与所述第1固定电阻的形状相同。

5.根据权利要求3所述的热式流量计，其特征在于，

所述下游侧温度传感器的形状与所述第2固定电阻的形状相同。

6.根据权利要求3所述的热式流量计，其特征在于，

所述热式流量计具备基板和设置于该基板的隔膜，

所述上游侧温度传感器以及所述下游侧温度传感器设置于所述隔膜，

所述第1固定电阻以及所述第2固定电阻在所述隔膜的外侧设置于所述基板。

7.根据权利要求3所述的热式流量计，其特征在于，

所述第1固定电阻与所述第2固定电阻接近地配置。

8.根据权利要求3所述的热式流量计，其特征在于，

所述第1固定电阻的形状与所述第2固定电阻的形状相同。

9.根据权利要求1所述的热式流量计，其特征在于，

所述热式流量计具备线性化部，其使所述上游侧温度传感器的输出和所述下游侧温度传感器的输出单独地线性化。

10.根据权利要求1所述的热式流量计，其特征在于，

所述热式流量计具有故障判定部，其基于所述上游侧温度传感器的输出和所述下游侧温度传感器的输出来判定故障。

11.根据权利要求1所述的热式流量计，其特征在于，

所述热式流量计具备决定基准电压的基准电压电路，

所述第1模拟数字转换器以及所述第2模拟数字转换器与相同的所述基准电压电路连接。

12.根据权利要求1所述的热式流量计，其特征在于，

所述第1模拟数字转换器以及所述第2模拟数字转换器具备相同的电路结构。

13.根据权利要求1所述的热式流量计，其特征在于，

所述热式流量计具备输出时钟信号的时钟产生器，

所述第1模拟数字转换器以及所述第2模拟数字转换器与相同的所述时钟产生器连接，利用相同的所述时钟信号进行动作。