[发明专利]吸着垫

说明书

本发明提供一种能够通过电性吸着力而吸着及保持于人体的皮肤等被吸着物上的吸着垫。一种吸着垫，吸着于被吸着物而使用，所述吸着垫的特征在于包括：层叠薄片，依次层叠有厚度20μm～200μm的第一树脂薄膜、厚度1μm～20μm的电极层、及厚度20μm～200μm的第二树脂薄膜；以及电源装置，对所述电极层施加电压；且至少所述第二树脂薄膜的拉伸弹性模量为1MPa以上且未满100MPa，并且其体积电阻率为1×10¹⁰Ω·cm～1×10¹³Ω·cm，通过对所述电极层施加电压而产生的电性吸着力，可使所述第二树脂薄膜作为吸着面，吸着于被吸着物。

技术领域

本发明涉及一种利用电性吸着力吸着于被吸着物而使用的吸着垫，详细而言，涉及一种除了能够吸着并保持于导电体之外，而且例如，能够吸着并保持于如动物或植物及这些的加工物等的柔软并且具有某种程度的水分或油分那样的被吸着物、特别是能够吸着并保持于人体的皮肤的吸着垫。

背景技术

近年来，穿戴于身体等的所谓可穿戴(wearable)的新型电气产品不断上市，例如，欲通过各种传感器而收集生物体的数据的机会等升高。在此种用途中，可考虑使用具有粘接剂或粘着剂等粘接部件的垫子，但若使用粘接剂或粘着剂等，则存在拆装耗费工夫，并且无法重复使用的缺点。

且说，作为通过电性吸着力而使被吸着物吸着的装置，自之前以来，是使用静电卡盘(chuck)。静电卡盘主要用于工业，用以进行对半导体基板或玻璃基板进行处理时的吸着与保持，通常具备自上下方向分别利用电介质夹入电极的结构，通过根据吸着原理对电极施加电压，可将其中一个电介质的表面作为吸着面而吸着被吸着物，有时具有如下的结构，即，包括加热部件，或者与包括使冷媒流入的管路的金属制底座一体粘接。又，除了对此种半导体基板等进行处理的静电卡盘以外，本申请的发明者等人也已提出应用了静电卡盘的电性吸着的结构及原理的静电吸着结构体。

例如，在专利文献1中，已提出一种结构变更的方便性高的静电吸着结构体，即，可通过使将两个电介质夹入至电极的多个薄片构件层叠，对电极间施加电压，而吸着固定构件彼此，并且可使其他吸着面吸着纸或树脂薄片等展示物或公开物等，在使用后可通过切断电压的施加，而使薄片构件彼此或被吸着物容易地分离。又，例如，在专利文献2中，已提出一种发电装置，将在两个绝缘层之间夹入有吸着电极的静电卡盘的表面作为拆装部件，在其上安装薄膜状的太阳电池，由此使得设置地点的选择性及拆装性优良。这些专利文献1的静电吸着结构体或专利文献2的发电装置是使用静电卡盘的吸着原理，拆装性优良，并且薄且在操作性上下了功夫，但是说到底，其目的在于吸着固定于如上所述的工业产品或日用品之类的比较大型且表面相同的人造物体，对如人体的皮肤等的柔软并且具有某种程度的水分或油分那样的被吸着物的应用则尚未探讨。事实上，在这些专利文献1所记载的静电吸着结构体或专利文献2所记载的发电装置中，作为具体的介电层(绝缘体)，宜使用聚酰亚胺薄膜或聚对苯二甲酸乙二醇酯(polyethylene terephthalate，PET)薄膜，但根据本发明者等人的事先探讨，当欲使这些静电吸着结构体(发电装置)吸着于生物体(例如，人体的皮肤等)时，虽然详细的原因未确定，但可推测会通过在静电卡盘表面上产生反带电而产生吸着力的减少，从而与使用半导体基板等的情况相比，所述反带电的产生及吸着力显著减少，故可推断人体皮肤的水分或油分是更强烈地引起此现象的物质。

又，作为其他理由，在之前以来的静电卡盘中，为了获得充分的吸着力，在对象物与卡盘之间需要充分的接触面积，为了增大接触面积，迄今为止是将吸着对象侧及卡盘侧均设为平坦且一样。在此方面，生物体(例如，人体的皮肤等)的表面通常某种程度柔软并且弯曲，因此可知在如现有的静电卡盘中，是仅一部分吸着面接触，从而无法获得充分的吸着力。