[发明专利]用于干化材料片的设备和方法

说明书

提供一种将气流排出到材料片上的气刀。所述气刀包括：主体，包括入口部分和出口部分；和多个入口端口。所述入口部分限定气室。所述出口部分限定与所述气室流体连通的出口孔。所述入口端口从所述入口部分突出，并且每个入口端口包括与所述气室流体连通的通路。在一些实施例中，所述入口端口从所述主体的背壁或后壁突出。在其他实施例中，所述出口部分终止在出口面，在出口面中形成有所述出口孔，其中所述出口部分的尖端区域形成延伸到所述出口面的不大于90度的锥角。

相关申请的交叉引用

本申请要求于2018年2月27日所提出的第62/635,593号美国临时专利申请的优先权的权益，该申请的内容如同在下文完全地阐述的那样是本申请的基础并且全文以引用的方式并入本文。

技术领域

本公开大体上涉及用于处理材料片的设备和方法，并且更具体地涉及用于处理基板片(诸如干化玻璃片作为精加工操作的一部分)的气刀结构和干化设备。

背景技术

处理需要高质量表面光洁度玻璃片(像是用在平板显示器中的玻璃片)一般涉及将玻璃片切割成预定形状并接着研磨和/或抛光切割的玻璃片的边缘以除去尖锐的边缘和/或转角。可以例如通过包括至少一个精加工构件(例如磨轮，例如研磨轮、抛光轮等等)的精加工设备，来实现研磨和/或抛光步骤。这样的精加工一般在玻璃的主要面上留下碎屑，这些碎屑应通过用清洁液(例如水)冲洗玻璃片来除去。留在玻璃片的表面上的碎屑(特别是玻璃碎屑)可以粘合到表面并变得难以除去。然而，若不快点除去的话，清洁液可能留下斑点(例如残留物)。因此，采用了干化设备来除去清洁液。此类干化设备应该能够在玻璃片通过运输设备前行的同时跨玻璃片的整个表面快速地消除清洁液。

随着玻璃片(特别是用于电子显示设备的玻璃片)的尺寸变得越来越大，提供在短时间内跨片材的整个尺寸实质均匀地除去清洁液的操作的能力变得越来越难。

发明内容

在精加工过程(例如边缘研磨过程)之后，可以执行清洁操作以从玻璃片表面除去污染物。例如，可以将玻璃片运输通过湿式清洁站，在该湿式清洁站处，去离子水与洗涤剂的溶液(或其他液体溶液)被施用于玻璃片以除去表面颗粒和污斑。在湿式清洁步骤之后，可以接着干化玻璃片表面，例如以准备玻璃片用于检验。可以直列地执行精加工(例如切割、研磨、抛光等等)、清洁、和干化步骤，其中玻璃片被连续运输通过统称为精加工线的各种站。后续的处理步骤可以包括：包装玻璃片和向客户运送玻璃片或将玻璃片移动到仓库中储存。

干化步骤一般通过将玻璃片输送通过干化站来完成，在该干化站处，一个或多个“气刀”将加压气体(例如空气)引导到玻璃片的相对的平坦主要面中的一者或两者上。如本文中所使用的，气刀应指一种设备，该设备用来在压力下(例如用预定速度)排出一定体积的气体，该气体一般(然而不一定)被排出成细长的气幕。尽管在指涉该设备时一般使用用语“空气”，但该设备不限于使用空气作为排气气体，并且可以取决于需要使用其他的气体或气体混合物。

可以相对于玻璃片的行进路径倾斜地布置气刀的出口(例如细长的狭槽、一系列孔等等)。由气刀所递送的造成的气幕将容易将液体引导到玻璃片的边缘并接着引导离开该边缘。目前与玻璃片精加工线一起采用了常规的气刀，并且常规的气刀可以包括细长外壳，该外壳形成通向气刀出口的腔室。从供应器(例如吹风机或泵)经由定位在细长外壳的末端处的入口端口向腔室提供强制气流。然而，目前的气刀设计的干化效能可能不足以满足玻璃片大量生产的不断增加的需求，特别是考虑到市售玻璃片的尺寸一直增加。