[发明专利]超声波接合方法

权利要求书

1.一种超声波接合方法，使用超声波振动接合装置进行，其特征在于，

上述超声波振动接合装置具备多个超声波接合用头部(61～63)，该多个超声波接合用头部(61～63)分别具有超声波接合部(16a)并且通过从多个超声波接合部施加超声波振动而执行多个超声波振动动作；

上述超声波接合方法具备：

步骤(a)，将接合对象物(31、33)向工作台(30)上配置；以及

步骤(b)，以上述接合对象物为超声波接合对象，对上述多个超声波接合用头部进行控制而执行上述多个超声波振动动作；

上述步骤(b)以满足在上述多个超声波接合用头部间上述超声波振动动作在时间上不重复的超声波时间条件的方式，执行上述多个超声波振动动作，

上述超声波振动接合装置还具备执行使上述多个超声波接合用头部一起下降的下降动作的头部移动机构(2X)；

上述步骤(b)包括：

步骤(b－1)，向上述接合对象物的上方配置上述多个超声波接合用头部；以及

步骤(b－2)，对上述头部移动机构进行控制而执行上述下降动作，将上述多个超声波接合部各自与上述接合对象物的接触时刻作为上述多个超声波振动动作的执行开始时刻而执行上述多个超声波振动动作；

上述步骤(b－1)将上述多个超声波接合用头部以初始设定状态进行配置，以使得作为从上述接合对象物到上述多个超声波接合部的高度的多个初始接合高度成为相互不同的高度；

上述步骤(b－2)在上述多个超声波接合用头部间使得与上述接合对象物的接触时刻不重复而执行上述多个超声波振动动作。

2.如权利要求1所述的超声波接合方法，其特征在于，

在上述步骤(b－1)的执行后，上述多个超声波接合部中的至少2个超声波接合部在平面观察时沿着规定方向配置。

3.如权利要求2所述的超声波接合方法，其特征在于，

上述超声波振动接合装置能够沿着上述规定方向移动；

上述头部移动机构还执行使上述多个超声波接合用头部一起上升的上升动作；

上述超声波接合方法还具备：

步骤(c)，在上述步骤(b)的执行后，对上述头部移动机构进行控制而执行上述上升动作，使上述多个超声波接合部回到上述初始设定状态；以及

步骤(d)，在上述步骤(c)的执行后，使上述超声波振动接合装置沿着上述规定方向移动。

4.如权利要求1～3中任一项所述的超声波接合方法，其特征在于，

设定上述多个初始接合高度、由上述头部移动机构进行的上述下降动作的下降速度、及上述多个超声波振动动作的动作时间，以满足上述超声波时间条件。

5.如权利要求1～3中任一项所述的超声波接合方法，其特征在于，

上述接合对象物是在内部具有太阳能电池功能的太阳能电池用基板上有选择地配置的电极。