[发明专利]用于确定压差大小的压差传感器

权利要求书

1.一种用于确定压差大小的压差传感器(1)，包括：

-压差换能器(20)，所述压差换能器具有测量膜(21)和用于将所述测量膜(21)的压力相关的变形转换为所述压差大小的电路(22)，

-膜密封件(30)，所述膜密封件具有膜密封主体(31)，填充有传递流体(39)的压力室(32)位于所述膜密封主体中，并且具有凹部的填充主体(33)布置在所述膜密封主体中，以便填充所述压力室(32)的壁与布置在所述凹部中的所述压差换能器(20)之间的空腔，其中第一液压路径(34a)和第二液压路径(34b)各自在第一开口(35a、35b)与第二开口(36a、36b)之间延伸穿过所述膜密封主体(31)，其中所述第一开口(35a、35b)各自由第一分离膜(37a、37b)关闭，所述第一分离膜可使第一压力(p1)或第二压力(p2)被施加，以便将所述第一压力(p1)引入到所述第一液压路径(34a)中并将所述第二压力(p2)引入到所述第二液压路径(34b)中，其中所述第一液压路径(34a)在所述压力室(32)中的所述第二开口(36a)处打开，使得所述第一压力在第一测量膜侧(21a)上被施加到所述压差换能器的所述测量膜(21)，其中所述第二压力(p2)经由所述第二液压路径(34b)被施加到所述第二开口(36b)处的第二测量膜侧(21b)，使得所述测量膜的所述变形表示所述第一压力(p1)与所述第二压力(p2)之间的所述压差大小，其中压电层(40)设置在所述压力室(32)内以确定所述第一压力(p1)的绝对压力大小。

2.根据权利要求1所述的压差传感器，其中，所述压电层(40)至少部分地被施加到所述压力室(32)和/或所述填充主体(33)的至少一个壁。

3.根据权利要求1或2所述的压差传感器，其中，第一导电层(50)被施加在所述压力室(32)或所述填充主体(33)的所述壁与所述压电层(40)之间，以导出所述压电层(40a)的第一侧的第一电信号，其中所述压电层(40)被施加到所述导电层(50)，并且所述第一导电层(50)至少局部地暴露，使得所述压电层(40a)的所述第一侧的所述第一电信号可经由至少一个接触表面(51)被导出。

4.根据前述权利要求中中一项或多项所述的压差传感器，其中，用于导出所述压电层(40b)的第二侧的第二电信号的第二电层(53)被施加到所述压电层，其中，所述第二电信号经由固定在所述第二电层上的接合线(52)被导出。

5.根据前述权利要求中的一项或多项所述的压差传感器，其中，所述填充主体(33)包括非导电材料，特别是，玻璃、塑料、陶瓷。

6.根据前述权利要求中的一项或多项所述的压差传感器，其中，所述压电层基本上完全覆盖所述压力室(32)或所述填充主体(33)的所述壁。

7.根据前述权利要求中的一项或多项所述的压差传感器，其中，设置评估单元(60)，所述第一电信号和所述第二电信号被提供到所述评估单元，并且所述评估单元被配置成基于所述第一电信号和所述第二电信号来确定所述第一压力(p1)的所述绝对压力大小。

8.根据前述权利要求中的一项或多项所述的压差传感器，其中，在所述压电层至少部分地覆盖所述压力室的所述壁或被施加到所述压力室的所述壁的情形下，在所述壁与所述压电层之间设置绝缘层。