[发明专利]包括放电灯的光源装置、照射装置以及放电灯的判定方法

说明书

本发明提供一种照射装置，即使在放电灯的发光管的内部空间没有封入启动性促进物质也能够得到良好的启动性，并且能够辨别该放电灯是否为正品。照射装置(50)由成为光源的放电灯(110)和在放电灯(110)启动时为了检测放电灯(110)是否为正品而对放电灯(110)照射紫外光的紫外线光源(200)构成。

技术领域

本发明涉及例如包括发出在印刷布线基板等的曝光中使用的光的放电灯的光源装置、照射装置以及该放电灯是否为正品的判定方法。

背景技术

以往，为了将部件安装于电子设备而使用在树脂或玻璃环氧材料的基板上用铜等金属形成了布线图案的印刷布线基板。为了在这些印刷布线基板上形成布线图案而使用光刻技术。光刻是通过在整个面形成有成为布线的金属层的基板上的整个面涂布感光性的药剂即光刻胶，并穿过与布线图案相同的光掩模对光刻胶照射来自曝光装置的照射光来进行的。

光刻胶包括光刻胶的溶解性由于照射光而降低的负性光刻胶和光刻胶的溶解性由于照射光而增加的正性光刻胶。当对溶解性由于照射光而相对增大的光刻胶部分进行化学处理而将其去掉，并利用蚀刻去除暴露的金属层时，只有处于光刻胶残留的部分之下的金属层残留，通过去除光刻胶从而在基板上形成布线图案。即使在将照射光照射于正性、负性的任一种光刻胶的情况下，为了在照射面整个面确保均匀的曝光量，作为光源，均使用每一盏灯的发光量多的放电灯。

放电灯通过在发光管的气密的内部空间中相互分离相对配置的一对电极彼此之间产生电弧放电，由此激发被封入到该内部空间中的水银而发出紫外光。

为了开始放电灯的点亮，在一对电极彼此之间开始辉光放电，然后转移到电弧放电，但为了开始辉光放电，需要在真空环境下在物理性分离的电极间产生绝缘破坏。为了产生该绝缘破坏，需要向电极间施加高频的大电压，但施加这样的大电压的电源装置非常昂贵，另外，也被指出所产生的高频有可能引起周围的机器的误动作。因此，为了以稍低的电压或低的频率开始放电，也即为了提高放电灯的启动性而提出了各种办法。

例如，专利文献1中记载了一种通过在发光管的内部空间封入氪85等启动性促进物质来提高启动性的技术。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2009-181927号公报

发明内容

发明所要解决的问题

然而，在将氪85封入到发光管的内部空间的情况下，虽然放电灯的启动性良好，但是在废弃该放电灯时会有影响环境之虞。

此外，在已开发出实施了提高没有封入氪85的放电灯的启动性的设计的照射装置的情况下，存在与没有封入氪85的正品的放电灯发生混淆，而将封入有氪85的非正品的放电灯安装于照射装置的可能性，因此对于照射装置需要一种能够排除这样的非正品的放电灯的办法。

本发明是鉴于上述问题而完成的，其目的在于提供一种即使在放电灯的发光管的内部空间没有封入启动性促进物质也能够得到良好的启动性，并且能够辨别该放电灯是否为正品的光源装置、照射装置以及该放电灯是否为正品的判定方法。

用于解决问题的手段

根据本发明的一个方面，提供一种光源装置，其具备：

放电灯，成为光源；

白炽灯，用于检测所述放电灯是否为正品；以及

反射器容器，安装有所述放电灯及所述白炽灯，

所述光源装置的特征在于，

所述放电灯受到来自设置于外部的紫外线光源的紫外线的照射而点亮。

根据本发明的一个方面，提供一种照射装置，其具备：