[发明专利]尺度上稳定快速地蚀刻玻璃

权利要求书

1.一种玻璃，包括范围如下的用摩尔百分比为单位的基于氧化物的成分：SiO₂为68.5-72.0，Al₂O₃大于或等于13.0，B₂O₃小于或等于2.5，MgO为1.0-6.0，CaO为4.0-8.0，SrO小于或等于4.5，BaO小于或等于4.5，使得(MgO+CaO+SrO+BaO)/Al₂O₃小于或等于1.6，且所述玻璃具有大于或等于23的蚀刻指数，大于或等于800℃的退火点，所述玻璃基本无碱，Na₂O含量在1重量ppm(ppm by weight)到100重量ppm的范围中，及所述玻璃具有大于82GPa的模量，其中所述玻璃不含P₂O₅。

2.一种玻璃，包括范围如下的用摩尔百分比为单位的基于氧化物的成分：SiO₂为63.0-75.0，Al₂O₃为13.0-14.0，B₂O₃0-2.8，MgO为0.9-9.0，CaO为5.25-11，SrO0-6.0，BaO为1.0-9.0，所述玻璃基本无碱，在1重量ppm到100重量ppm的范围中的Na₂O含量，且具有21μm/mm³的蚀刻指数，其中所述玻璃不含P₂O₅。

3.根据权利要求2所述的玻璃，其中所述玻璃包括用摩尔百分比为单位的基于氧化物的以下成分：SiO₂为68.0-71.0，B₂O₃0-2.0，MgO为3.5-5.0，SrO0-2.0，BaO为2.5-4.5。

4.根据权利要求2所述的玻璃，其中所述玻璃包括用摩尔百分比为单位的基于氧化物的以下成分：SiO₂为68.0-72.0，B₂O₃0-2.0，MgO为3.5-5.0，CaO为5.25-10.0，SrO0-2.0，BaO为2.5-4.5。

5.一种玻璃，包括范围如下的用摩尔百分比为单位的基于氧化物的成分：SiO₂为63.0-75.0，Al₂O₃为13.0-14.5，B₂O₃0-2.0，MgO为0.9-9.0，CaO为5.0-6.5，SrO0-6.0，BaO为1.0-9.0，所述玻璃基本无碱，在1重量ppm到100重量ppm的范围中的Na₂O含量，且具有为1.1-1.6的(MgO+CaO+SrO+BaO)/Al₂O₃及21μm/mm³的蚀刻指数，其中所述玻璃不含P₂O₅。

6.根据权利要求5所述的玻璃，其中所述玻璃包括用摩尔百分比为单位的基于氧化物的以下成分：SiO₂为68.0-72.0，MgO为3.5-5.0，CaO为5.25-6.5，SrO0-2.0，BaO为2.5-4.5。

7.一种基本上不含碱的玻璃，其中(MgO+CaO+SrO+BaO)/Al₂O₃在1.0至1.6的范围内，MgO/(MgO+CaO+SrO+BaO)的比在0.22和0.37之间的范围内，T(退火)785℃，密度2.65g/cc，T(200P)1750℃，T(350kP)1340℃，杨氏模量82GPa，Na₂O含量范围在1重量ppm至100重量ppm之间，且蚀刻指数21μm/mm³，其中所述玻璃不含P₂O₅，其中T(退火)是退火温度，并且T(200P)和T(350kP)分别表示玻璃的粘度为200P和350kP时的温度。