[发明专利]应变片

说明书

本应变片包括形成在具有可挠性的基材上的应变检测部和温度检测部，其中，所述应变检测部在所述基材上具有由包含铬和镍中的至少一者的材料形成的电阻体，所述电阻体包括并排设置的多个电阻图案、以及将相邻的所述电阻图案的端部彼此连接的折返部分，在所述折返部分上层叠有由灵敏度低于所述电阻体的材料构成的第一金属层，所述折返部分上的所述第一金属层的电阻值低于所述折返部分的电阻值，所述温度检测部是热电偶，该热电偶具有在所述基材上由与所述电阻体相同的材料形成的第二金属层、以及在所述第二金属层上由与所述第一金属层相同的材料形成的第三金属层。

技术领域

本发明涉及一种应变片(strain gauge)。

背景技术

已知一种应变片，其粘贴在测定对象物上，以对测定对象物的应变进行检测。应变片具有用于对应变进行检测的电阻体，作为电阻体的材料，例如使用包含Cr(铬)或Ni(镍)的材料(例如参见专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：(日本)特开2016-74934号公报

发明内容

本发明要解决的问题

然而，如果电阻体的电阻值随着温度而变化，电阻温度系数产生偏差，则无法精确地检测出应变。

鉴于上述问题，本发明的目的在于提供一种能够输出电阻体的周边温度信息的应变片。

用于解决问题的手段

本应变片包括形成在具有可挠性的基材上的应变检测部和温度检测部，其中，所述应变检测部在所述基材上具有由包含铬和镍中的至少一者的材料形成的电阻体，所述电阻体包括并排设置的多个电阻图案、以及将相邻的所述电阻图案的端部彼此连接的折返部分，在所述折返部分上层叠有由灵敏度低于所述电阻体的材料构成的第一金属层，所述折返部分上的所述第一金属层的电阻值低于所述折返部分的电阻值，所述温度检测部是热电偶，该热电偶具有在所述基材上由与所述电阻体相同的材料形成的第二金属层、以及在所述第二金属层上由与所述第一金属层相同的材料形成的第三金属层。

发明的效果

根据所公开的技术，能够提供一种能够输出电阻体的周边温度信息的应变片。

附图说明

图1是示出根据第1实施方式的应变片的平面图(其1)。

图2是示出根据第1实施方式的应变片的平面图(其2)。

图3A是示出根据第1实施方式的应变片的剖面图(其1)。

图3B是示出根据第1实施方式的应变片的剖面图(其2)。

图3C是示出根据第1实施方式的应变片的剖面图(其3)。

图4A是示出根据第1实施方式的应变片的制造工序的图(其1)。

图4B是示出根据第1实施方式的应变片的制造工序的图(其2)。

图4C是示出根据第1实施方式的应变片的制造工序的图(其3)。

图5A是示出根据第1实施方式的应变片的剖面图(其4)。

图5B是示出根据第1实施方式的应变片的剖面图(其5)。

图5C是示出根据第1实施方式的应变片的剖面图(其6)。

图6A是示出根据第1实施方式的变形例1的应变检测部的平面图(其1)。

图6B是示出根据第1实施方式的变形例1的应变检测部的平面图(其2)。

图6C是示出根据第1实施方式的变形例1的应变检测部的平面图(其3)。