[发明专利]弹性波装置

权利要求书

1.一种弹性波装置，具备：

压电性基板，其反向速度面为凸；

IDT电极，其设置在所述压电性基板上；以及

质量附加膜，其层叠于所述IDT电极的一部分，

所述IDT电极具有：

相互对置的第一汇流条及第二汇流条；

一端与所述第一汇流条连接的多个第一电极指；以及

一端与所述第二汇流条连接的多个第二电极指，该多个第二电极指与所述多个第一电极指相互交错插入，

在将弹性波传播方向设为第一方向、将与所述第一方向正交的方向设为第二方向时，所述第一电极指与所述第二电极指在所述第一方向上重叠的部分为交叉区域，

所述交叉区域具有：

中央区域，其位于所述第二方向上的中央侧；

第一边缘区域，其配置在所述中央区域的所述第一汇流条侧；以及

第二边缘区域，其配置在所述中央区域的所述第二汇流条侧，

所述IDT电极具有：

第一间隙区域，其位于所述第一边缘区域与所述第一汇流条之间；以及

第二间隙区域，其位于所述第二边缘区域与所述第二汇流条之间，

所述第一汇流条由位于所述第一间隙区域侧的第一内侧汇流条区域和位于所述第一内侧汇流条区域的所述第二方向上的外侧的第一外侧汇流条区域构成，并且，所述第二汇流条由位于所述第二间隙区域侧的第二内侧汇流条区域和位于所述第二内侧汇流条区域的所述第二方向上的外侧的第二外侧汇流条区域构成，

所述质量附加膜至少层叠在所述第一边缘区域、所述第二边缘区域、所述第一内侧汇流条区域及所述第二内侧汇流条区域，

在所述中央区域、所述第一外侧汇流条区域及所述第二外侧汇流条区域的所述IDT电极上未层叠所述质量附加膜。

2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

所述第一边缘区域及所述第二边缘区域的声速比所述中央区域的声速低，

所述第一间隙区域及所述第二间隙区域的声速比所述中央区域的声速高，

所述第一内侧汇流条区域及所述第二内侧汇流条区域的声速比所述中央区域的声速低，所述第一外侧汇流条区域的至少一部分及所述第二外侧汇流条区域的至少一部分的声速比所述中央区域的声速高。

3.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，

所述压电性基板仅由压电体层构成，并且由铌酸锂构成。

4.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，

所述压电性基板具有高声速构件、设置在所述高声速构件上的低声速膜以及设置在所述低声速膜上的压电体层，

在所述高声速构件传播的体波的声速比在所述压电体层传播的弹性波的声速高，

在所述低声速膜传播的体波的声速比在所述压电体层传播的体波的声速低。

5.根据权利要求4所述的弹性波装置，其中，

所述弹性波装置还具备支承基板，

所述高声速构件是设置在所述支承基板与所述低声速膜之间的高声速膜。

6.根据权利要求4所述的弹性波装置，其中，

所述高声速构件是支承基板。

7.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，

所述IDT电极的所述第一外侧汇流条区域具有沿着所述第一方向设置有多个开口部的第一开口部形成区域，所述第二外侧汇流条区域具有沿着所述第一方向设置有多个开口部的第二开口部形成区域。

8.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，

所述IDT电极的所述第一汇流条及所述第二汇流条不具有开口部。

9.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，

所述质量附加膜层叠在所述IDT电极的所述第一间隙区域及所述第二间隙区域。

10.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，

所述压电性基板、所述IDT电极及所述质量附加膜按照该顺序被层叠。