[发明专利]安全柜

权利要求书

1.一种安全柜，其特征在于，包括：

具有工作台的作业空间；形成在该作业空间的前表面的前面板；设置在该前面板的下部的作业开口；在所述工作台的前方侧且在所述作业开口的附近设置的通向下方的吸气口；和使从该吸气口吸入的空气通过所述作业空间的下部、背面和上部的空气循环通路，

该安全柜还包括：

颗粒计数器；

在所述作业空间中将空气吸入所述颗粒计数器的作业空间取气口；和

将空气从该作业空间取气口导入所述颗粒计数器的导入配管，

在与所述作业开口附近的下方连通的所述吸气口的正下方或其周围具有将空气吸入所述颗粒计数器的吸气口处取气口，

具有将空气从该吸气口处取气口导入所述颗粒计数器的导入配管，

该安全柜还具有：位于所述作业空间的上侧的、将所述空气循环通路中的空气吹出到该作业空间中的吹出侧FFU；将所述空气循环通路中的空气排出到外部的排出侧FFU；和控制装置，

该控制装置将用所述颗粒计数器计测出的来自所述作业空间取气口的空气的第一微粒数量与第一设定阈值进行比较，将用所述颗粒计数器计测出的来自所述吸气口处取气口的空气的第二微粒数量与第二设定阈值进行比较，当所述第一微粒数量为所述第一设定阈值以下、且所述第二微粒数量为所述第二设定阈值以上时，加强所述排出侧FFU的运转。

2.根据权利要求1所述的安全柜，其特征在于：

具有多个所述作业空间取气口，具有与多个所述作业空间取气口分别对应的多个导入配管和颗粒计数器。

3.根据权利要求1所述的安全柜，其特征在于：

具有多个所述作业空间取气口，

具有与多个所述作业空间取气口分别对应的多个导入配管，

具有分支切换单元，其切换来自多个所述导入配管的空气的分支通路而使其与所述颗粒计数器连接。

4.根据权利要求1所述的安全柜，其特征在于：

具有控制装置，

所述控制装置将用所述颗粒计数器计测出的微粒数量与设定阈值进行比较，当所述微粒数量超过该设定阈值时发出警报。

5.根据权利要求1所述的安全柜，其特征在于：

具有控制装置和显示器，

所述控制装置将用所述颗粒计数器计测出的微粒数量与设定阈值进行比较，当所述微粒数量超过该设定阈值时在显示器上显示应对措施。

6.根据权利要求1所述的安全柜，其特征在于：

具有吸入来自所述吸气口处取气口的空气的第二颗粒计数器。

7.根据权利要求1所述的安全柜，其特征在于：

具有分支切换单元，其切换来自所述作业空间取气口的空气和来自所述吸气口处取气口的空气的分支通路而将空气吸入所述颗粒计数器。