[发明专利]微细图案转印用模具和微细图案成型方法

说明书

本发明的目的在于提供一种能够通过一体成型将微细图案高精细地转印到中空产品内部的微细图案转印用模具和微细图案成型方法。通过模具本体的合模，在由型腔部和在规定的位置固定有微细图案原版的型芯销部形成的产品形成空间部中，使供熔融状态的树脂材料从热流道部流入的浇口部以与上述微细图案原版的固定面水平的方式在上述固定面的一端侧开口，将上述热流道部的注射喷嘴与上述浇口部直接连结，利用从上述浇口部流入的上述树脂材料一体成型出上述中空产品。

技术领域

本说明书中的公开涉及微细图案转印用模具和微细图案成型方法，特别涉及在中空产品的内表面转印微细图案的技术。

背景技术

作为这种技术，已知压印技术。压印技术能够将半导体材料、光学材料、微型机器、生物等各种领域中期待利用的数μ至数百μ量级的微细的凹凸图案转印到规定的材料上。

例如，在光盘基板制造用的模具(压模)中，有的是，使用镍电铸部件等来转印转印用的微细图案(冲头(bit)等)的(例如，参照专利文献1)，也有的是，沿着辊形状的模具的外周设置有2个以上的图案部并且这些图案部相互并列配置，在上述图案部中，在上述模具的外周形成有微细结构，构成上述各图案部的微细结构的大小为1μm以下(例如，参照专利文献2)等等。

此外，也有时为了用上述微细图案的凹部捕获存在于液体中的μ量级的分子，必须在中空产品(例如有底筒状产品)的内部形成微细图案(例如参照非专利文献1)。

在此，作为有底筒状产品即中空状的树脂产品的注塑成型，提出了一种中空产品用注塑成型模具，其具备与型腔连通的热流道、和滑动自如地设置在该热流道内的用于开闭浇口的销，并且在上述销内设有向上述型腔内压送的气体的流入路径(例如参照专利文献3)。在中空状的树脂产品的情况下，由于与平面板相比较，产品成型部的流路较长，存在弯曲部位，故可能在成型过程中导致树脂的温度降低。因此，使用热流道，以免出现伴随温度降低而产生的成型不良。

现有技术文献

专利文献

专利文献1:日本特开2006-297639号

专利文献2:日本特开2013-86388号

专利文献3:日本特开2002-292701号

非专利文献

非专利文献1:国立研究开发法人科学技术振兴机构、新闻稿、共同发表，将疾病或易感性生物标志物的检测灵敏度提高100万倍[线上]、平成24年8月31日、[平成31年3月25日检索]、因特网＜URL：https：//www.jst.go.jp/pr/announce/20120831/index.html

发明内容

发明要解决的问题

例如，为了在上述中空的有底筒状产品的内侧底面形成微细图案，可以考虑利用上述专利文献1、专利文献2记载的技术，将容器底面部(即平面板)作为单独部件，在该底面部平面上实施微细图案的加工后，接合另外形成的侧面部的方法。

但是，在这样的方法中，部件数量倍增，并且需要将侧面部与底面部接合的工序。特别是，在上述有底筒状产品是一次性大量使用的产品的情况下，从制造成本、作业效率的观点出发，需要改善部件数量、作业工时的增加。另外，在接合两个部件的情况下，接合不良等在接合部分产生不良情况的可能性变高是不可避免的问题。特别是在用于生物化学类的分析时，这种接合不良可能会给高精细的分析带来障碍，潜在地存在可靠性的问题。

因此，从制造成本、作业效率改善、以及高可靠性的观点出发，为了在立体的中空产品的内部侧形成微细图案，如上述专利文献3所记载的那样，需要通过一体成型进行制造。然而，专利文献3所述的中空产品用注塑成型模具是以方向盘的转向柱外壳等较厚的厚壁成型品的制造为对象的，可以认为其不适合于在内部形成如上所述的微细图案的产品。