[发明专利]电解研磨方法和装置有效

专利信息
申请号: 201980002441.6 申请日: 2019-01-24
公开(公告)号: CN110637108B 公开(公告)日: 2021-07-23
发明(设计)人: 井田义明;山口隆宣;V·舒罕;仁井启介;水户谷刚;赤堀卓央;宫野健一;高桥福巳;姉带康则;早野仁司;文珠四郎秀昭;加藤茂树;佐伯学行 申请(专利权)人: 丸井镀金工业株式会社;东日本机电开发株式会社;株式会社WING
主分类号: C25F7/00 分类号: C25F7/00;C25F3/16
代理公司: 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 代理人: 龙淳
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 电解 研磨 方法 装置
【权利要求书】:

1.一种电解研磨装置,其特征在于,具有:

架台;

保持框,相对于所述架台,在纵向中央以沿着垂直面上下翻转自如的方式被轴支承,并纵向保持空心管;

电极,插通于所述空心管;

液体缓冲器,设置于所述空心管的两端;和

阀构件,无论是进行所述上下翻转的空心管的翻转前还是翻转后,都使电解液从下方的液体缓冲器向上方的液体缓冲器循环于空心管内。

2.如权利要求1所述的电解研磨装置,其特征在于:

具有控制单元,该控制单元在使空心管的一端成为下方且使另一端成为上方的状态下,使液体从下方的液体缓冲器向空心管循环,并且执行规定时间的电解研磨,接下来,在使所述空心管的另一端成为下方且使一端成为上方的状态下,使液体从下方的液体缓冲器向空心管循环,并且执行与所述规定时间相同的规定时间的电解研磨。

3.如权利要求1所述的电解研磨装置,其特征在于:

所述电极呈收纳状态和工作状态,所述收纳状态为具有多个沿着空心管的内表面的形状的单翼的翼电极卷绕于电极轴的状态,所述工作状态为解开所述卷绕而沿着周向延伸的状态。

4.如权利要求1所述的电解研磨装置,其特征在于:

所述空心管是周期性地形成有鼓起的铌管。

5.一种电解研磨方法,该方法使用权利要求1所述的电解研磨装置,所述电解研磨方法的特征在于,包括:

使电解液从所述空心管的下方的液体缓冲器向上方的液体缓冲器循环于空心管内,并且进行规定时间的电场研磨的步骤;

停止所述电解研磨,并且停止液体供给排出状态的步骤;

使所述空心管翻转的步骤;和

即使在所述翻转后的状态下,也以使电解液从所述空心管的下方的液体缓冲器向上方的液体缓冲器循环于空心管内的状态,进行与所述规定时间相同的规定时间的电场研磨的步骤。

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