[实用新型]一种管状陶瓷靶材生坯加工夹具

说明书

本实用新型公开了一种管状陶瓷靶材生坯加工夹具。该夹具包括支撑体、拉杆、轴套、端盖、锁紧螺母、夹头和支撑筋，所述支撑体的前端设有端盖，端盖上设有中心孔，所述拉杆通过该中心孔插入支撑体内，拉杆位于支撑体外的一端旋套有锁紧螺母，拉杆位于支撑体内的一端与所述轴套螺纹连接；所述夹头的数量为至少3组，该至少3组夹头均具有圆弧形夹紧面，且沿支撑体的外圆周方向均匀排列；所述支撑体上设有矩形开口，每个矩形开口处均嵌设具有斜面的支撑筋，所述斜面与所述轴套的外圆周面接触，支撑筋与夹头固定连接。本实用新型可以一次装夹靶材生坯完成加工，且夹持力均匀，能够解决陶瓷靶材生坯在加工过程中容易出现开裂的问题。

技术领域

本实用新型涉及陶瓷靶材加工设备技术领域，具体涉及一种管状陶瓷靶材生坯加工夹具。

背景技术

陶瓷靶材是一类非常重要的真空镀膜材料，包括ZnO、AZO、GZO、IZO、IGZO、ITO、TiO₂、Nb₂O₅等。陶瓷靶材是一种或多种氧化物粉末经过混合、造粒、成型、烧结而成的陶瓷材料。陶瓷材料在成型后由于强度不高，所以很难加工，尤其是在加工过程中因夹具夹持力大，夹持力不均匀导致靶材生坯加工时非常容易开裂，良率降低。若成型后的靶材生坯不加工到规则尺寸，生坯壁厚不够均匀，则会影响烧结的均匀性，并且烧结后靶材变成陶瓷材料，后期加工十分困难，有较大的磨削量，效率低下，造成成本浪费。因此，急需一种适用于管状陶瓷靶材加工的夹具，使管状陶瓷靶材生坯在加工过程中不易出现开裂，且能够一次装夹完成加工，夹持力均匀，加工后尺寸标准。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的不足之处而提供一种管状陶瓷靶材生坯加工夹具，该夹具可以一次装夹完成加工，并且夹持力均匀，加工后尺寸标准，能够解决陶瓷靶材生坯在加工过程中容易出现开裂的问题，使其烧结过程更加均匀，且烧结后靶坯加工余量小，大幅度降低生产工时，提高生产效率，提高产品良率，降低成本。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案如下：

一种管状陶瓷靶材生坯加工夹具，包括支撑体、拉杆、轴套、端盖、锁紧螺母、夹头和支撑筋，所述支撑体的前端设有端盖，端盖上设有中心孔，所述拉杆通过该中心孔插入支撑体内，拉杆位于支撑体外的前端旋套有锁紧螺母，拉杆位于支撑体内的末端与所述轴套螺纹连接；所述夹头的数量为至少3组，优选为3组，该至少3组夹头均具有圆弧形夹紧面，且沿支撑体的外圆周方向均匀排列；所述支撑体上设有矩形开口，每个矩形开口处均嵌设具有斜面的支撑筋，所述斜面与所述轴套的外圆周面接触，支撑筋与夹头固定连接。

将靶材生坯套在夹头外，通过转动拉杆，带动轴套在支撑体内沿水平方向移动，轴套的外圆周面与支撑筋上的斜面接触，轴套的移动会推动支撑筋沿支撑体的径向向外运动，进而带动具有圆弧形夹紧面的夹头与靶材生坯的内壁接触并涨紧，通过旋紧锁紧螺母，保持夹头与靶材生坯涨紧的状态。

靶材生坯完成后，松动锁紧螺母，转动拉杆在拉杆上沿水平方向移动，使得轴套的移动推动支撑筋沿支撑体的径向向内运动，从而使夹头与靶材生坯处于松开的状态，便于将加工后的靶材生坯从夹具上取下。

本实用新型的夹具通过圆周方向至少三个圆弧形夹紧面同时夹紧，夹头与靶材生坯的接触面积大，对于靶材单位面积受力小，并且夹持力均匀，避免靶材生坯夹持开裂，确保靶材生坯加工后尺寸标准。

优选地，所述夹具还包括导向机构，所述导向机构包括导向轴、垫块和导向轴套组成，所述支撑体上设有通孔，所述导向轴安装在所述夹头上，并穿过通孔进入支撑体内，所述导向轴位于支撑体和夹头之间的部分还套设有垫块，以及与所述导向轴配套的导向轴套，提高夹具的夹头在径向滑动的精度。

优选地，所述导向轴位于支撑体内的部分还套设有弹簧，保证夹具在松开的时候可以主动复位。

优选地，所述支撑体上的通孔的表面粗糙度Ra小于1.6μm，减少支撑体与导向轴之间的摩擦，提高夹具的夹头在径向滑动的精度。