[实用新型]一种传感器复用的多通道负压检测系统

说明书

本实用新型公开了一种传感器复用的多通道负压检测系统，包括阀岛、负压传感器和废气处理设备，所述阀岛包括气路板和多个电磁阀，所述气路板设有多个通道，所述电磁阀通过螺钉安装在气路板上，所述电磁阀的进气口与气路板的通道的出口连接，所述气路板的通道的入口连接有气管，多个所述电磁阀共用一个出气口，所述出气口连接负压传感器。使用阀岛，管路连接方便，仅需要一个负压传感器，就可以进行多通道检测，操作简单，方便维护，电磁阀上的手动开关方便在阀岛出现故障的时候进行控制和检测。

技术领域

本实用新型涉及半导体生产领域，具体涉及一种传感器复用的多通道负压检测系统。

背景技术

半导体生产过程中产生的废气多为有毒有害气体，对人体和环境危害严重。随着半导体行业的日益繁荣，产能激增，半导体厂商由于企业内部设施的限制对废气处理设备有更多各类需求，对处理效率有更高要求。在半导体尾气处理设备中，负压检测是一项及其重要的参数，可以直观的反应了设备运行状况。半导体废气处理设备上一般装有数量繁多的负压检测传感器，浪费了大量的盘内空间，而且管路连接杂乱，不方便维护更换。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种传感器复用的多通道负压检测系统，以解决现有技术中负压检测装置线路繁杂，占空间大的问题。

所述的一种传感器复用的多通道负压检测系统，包括阀岛、负压传感器和废气处理设备，所述阀岛包括气路板和多个电磁阀，所述气路板设有多个通道，所述电磁阀通过螺钉安装在气路板上，所述电磁阀的进气口与气路板的通道的出口连接，所述气路板的通道的入口连接有气管，多个所述电磁阀共用一个出气口，所述出气口连接负压传感器。

优选的，所述废气处理设备上设有多个侦测口，所述气管连接到各个侦测口。

优选的，所述阀岛通过现场总线连接PLC，所述负压传感器与PLC电性连接。

优选的，所述废气处理设备包括降温系统，所述降温系统与PLC连接。

优选的，每个所述电磁阀上均设有手动开关。

本实用新型的优点在于：使用阀岛，管路连接方便，仅需要一个负压传感器，就可以进行多通道检测，操作简单，方便维护，电磁阀上的手动开关方便在阀岛出现故障的时候进行控制和检测。

附图说明

图1、图2为本实用新型中阀岛不同角度的结构示意图。

图3为本实用新型中气路板的结构示意图。

其中，1-阀岛，2-负压传感器，3-电磁阀，4-气管，5-手动开关,6-气路板。

具体实施方式

下面对照附图，通过对实施例的描述，对本实用新型具体实施方式作进一步详细的说明，以帮助本领域的技术人员对本实用新型的实用新型构思，技术方案有更完整，准确和深入的理解。

如图1至图3所示，一种传感器复用的多通道负压检测系统，包括阀岛1、负压传感器2和废气处理设备，所述阀岛1包括气路板6和多个电磁阀3，所述气路板6设有多个通道，所述电磁阀3通过螺钉安装在气路板6上，所述电磁阀3的进气口与气路板6的通道的出口连接，所述气路板6的通道的入口连接有气管4，多个所述电磁阀3共用一个出气口，所述出气口连接负压传感器2。

所述废气处理设备上设有多个侦测口，所述气管4连接到各个侦测口

所述阀岛1通过现场总线连接PLC，所述负压传感器2与PLC电性连接。

所述废气处理设备包括降温系统，所述降温系统与PLC连接。

每个所述电磁阀3上均设有手动开关5。

本实用新型的工作原理及过程如下：