[实用新型]一种便携式现场真空计校准装置

说明书

本实用新型公开了一种便携式现场真空计校准装置，其特征在于，包括校准室(1)，与所述校准室(1)连接的微调阀(2)，设置在所述校准室(1)上的用于安装待校准真空计的被检口(3)和标准真空计(4)，设置于所述校准室(1)下部的壳体(5)，以及安装在所述壳体(5)内的分子泵、机械泵(6)、全量程真空规管(7)、增压器(8)、分子泵控制电源(9)；所述全量程真空规管(7)与所述校准室(1)连接，所述增压器(8)通过手动角阀(10)连接所述校准室(1)。本实用新型不仅结构简单、实现方便，而且适用于现场实施真空计的校准。

技术领域

本实用新型涉及计量检测技术领域，具体为一种便携式现场真空计校准装置。

背景技术

真空在科研、工业、芯片、硬盘等领域的应用十分广泛，真空度测量的精确性、标准化及可靠性是上述应用的关键，而真空计则是真空度测量的常规设备，对真空计的校准是保证真空度测量的准确性的重要因素之一。目前，真空计往往需要对外专业机构进行校准和标定，一般在专门的实验室里进行，不仅实施困难，而且对于用户来说，针对真空计的校准非常不便，在实际的生产活动中，由于校准实施难度大，有些企业并不能保准校准频率，进而导致生产事故，因此，便携的适用于现场实施校准的真空计校准装置是本领域的重要研究方向。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服上述缺陷，提供一种便携式现场真空计校准装置。

一种便携式现场真空计校准装置，包括校准室，与所述校准室连接的微调阀，设置在所述校准室上的用于安装待校准真空计的被检口和标准真空计，设置于所述校准室下部的壳体，以及安装在所述壳体内的分子泵、机械泵、全量程真空规管、增压器、分子泵控制电源；所述全量程真空规管与所述校准室连接，所述增压器通过手动角阀连接所述校准室。

进一步的，所述校准室为球形校准室，其半径r为10cm≤r≤12cm。

进一步的，所述被检口为高真空标准口。

进一步的，所述标准真空计采用标准电离真空规管。

进一步的，所述全量程真空规管与所述校准室之间设置有电磁阀。

进一步的，所述增压器采用涡轮增压器。

进一步的，所述机械泵安装于所述壳体内的底部。

本实用新型较现有技术相比，具有以下优点及有益效果：

本实用新型不仅结构简单、实现方便，而且适用于现场实施真空计的校准，有效地解决了现有技术中，针对真空计的校准基本只能在实验室中进行，不利于应用于生产活动中的问题。

附图说明

图1为本实用新型的主视图。

图2为本实用新型的侧视图。

上述附图中，附图标记对应的部件名称如下：

1—校准室，2—微调阀，3—被检口，4—标准真空计，5—壳体，6—机械泵，7—全量程真空规管，8—增压器，9—分子泵控制电源，10—手动角阀，11—电磁阀。

具体实施方式

下面结合实施例及其附图对本实用新型作进一步地详细说明，但本实用新型的实施方式并不限于此。

实施例

如图1、2所示，本实施例提供了一种便携式现场真空计校准装置，旨在解决现有技术针对真空计的校准不便的问题，该便携式现场真空计校准装置包括有校准室、微调阀、被检口、标准真空计、壳体、分子泵、机械泵、全量程真空规管、增压器、分子泵控制电源等结构部件。