[实用新型]一种成膜厚度与成膜速率的监测装置有效
| 申请号： | 201922426927.2 | 申请日： | 2019-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN211848126U | 公开（公告）日： | 2020-11-03 |
| 发明（设计）人： | 毛文斌;陈志宽 | 申请（专利权）人： | 宁波卢米蓝新材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 巩克栋 |
| 地址： | 315040 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 厚度 速率 监测 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种成膜厚度与成膜速率的监测装置，其特征在于，所述成膜厚度与成膜速率的监测装置包括2-5个晶振探头以及用于遮挡所述晶振探头的档板；
所述档板在驱动装置的驱动下实现对所述晶振探头的暴露和/或遮挡；
所述驱动装置包括步进电机、步进电机驱动器以及可编程逻辑控制器；
所述步进电机的驱动轴与档板连接以驱动档板旋转；
所述步进电机由步进电机驱动器与可编程逻辑控制器的控制下带动驱动轴转动。
2.根据权利要求1所述的成膜厚度与成膜速率的监测装置，其特征在于，所述成膜厚度与成膜速率的检测装置包括2个晶振探头。
3.根据权利要求1所述的成膜厚度与成膜速率的监测装置，其特征在于，所述步进电机设置于保护罩中。
4.根据权利要求1所述的成膜厚度与成膜速率的监测装置，其特征在于，所述档板为心形板；
所述心形板的尖端与驱动轴连接，心形板在驱动轴的带动下实现对所述晶振探头的暴露和/或遮挡。
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