[实用新型]一种应用于柔性印刷电路板的光刻装置有效
申请号: | 201922403879.5 | 申请日: | 2019-12-27 |
公开(公告)号: | CN211741828U | 公开(公告)日: | 2020-10-23 |
发明(设计)人: | 张雷;刘栋 | 申请(专利权)人: | 苏州源卓光电科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215026 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 应用于 柔性 印刷 电路板 光刻 装置 | ||
1.一种应用于柔性印刷电路板的光刻装置,其包括底座,其特征在于:其还包括置于所述底座上的放卷装置、第一曝光系统、第二曝光系统、收卷装置,所述柔性印刷电路板自所述放卷装置,依次通过所述第一曝光系统和所述第二曝光系统,从所述收卷装置收起,所述第一曝光系统和所述第二曝光系统均包括吸附台面,对应所述吸附台面的对位装置和曝光装置,所述第一曝光系统和第二曝光系统顺序排列,方向相对。
2.根据权利要求1所述的光刻装置,其特征在于:所述吸附台面垂直设置于所述底座。
3.根据权利要求1所述的光刻装置,其特征在于:所述吸附台面临近所述放卷装置或者收卷装置的一侧及其相对侧设有支撑辊。
4.根据权利要求3所述的光刻装置,其特征在于:所述吸附台面上对应所述支撑辊设置夹持辊构成夹持机构,所述夹持辊和所述支撑辊之间形成所述柔性印刷电路板通过的通道。
5.根据权利要求1所述的光刻装置,其特征在于:所述收卷装置和所述放卷装置均可顺时针旋转和逆时针旋转,在两个方向移动所述柔性印刷电路板。
6.根据权利要求5所述的光刻装置,其特征在于:所述收卷装置和所述放卷装置旋转方向相同,所述收卷装置进行卷入操作,所述放卷装置进行卷出操作,所述收卷装置进行卷出操作,所述放卷装置进行卷入操作。
7.根据权利要求1所述的光刻装置,其特征在于:所述放卷装置跟随所述第一曝光系统的吸附台面移动。
8.根据权利要求1或7所述的光刻装置,其特征在于:所述收卷装置跟随所述第二曝光系统的吸附台面移动。
9.根据权利要求1所述的光刻装置,其特征在于:所述第一曝光系统和所述第二曝光系统的吸附台面同步移动。
10.根据权利要求1所述的光刻装置,其特征在于:所述第一曝光系统和所述曝光系统对所述柔性印刷电路板单次曝光区域覆盖所述柔性印刷电路板的全部曝光区域。
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