[实用新型]一种用于二氧化碳激光器的激光反射镜

说明书

本实用新型公开了一种用于二氧化碳激光器的激光反射镜，该激光反射镜包括镜片基材（1）、过渡层（2）和镀膜层（3），镀膜层（3）由依序设置在过渡层（2）上的采用氟化镱制成的第一镀膜层（31）、采用硒化锌制成的第二镀膜层（32）、采用氟化镱制成的第三镀膜层（33）、采用硒化锌制成的第四镀膜层（34）、采用氟化镱制成的第五镀膜层（35）、采用硒化锌制成的第六镀膜层（36）构成，且镀膜层（3）的总厚度为6930nm±90nm。本实用新型的光学膜层能提高激光反射镜对波长9.3μm激光的反射率，实现波长9.3μm激光的起振和输出；过渡层能提高镀膜层与镜片基材之间的粘结牢固度，防止镀膜层脱落；且光学膜层更薄。

技术领域

本实用新型涉及光学镜片技术领域，具体地说是一种膜层厚度较薄且不易脱落的用于二氧化碳激光器的激光反射镜。

背景技术

射频二氧化碳激光器谐振腔中一般是由激光输出镜和激光反射镜构成一个激光振荡系统，工作条件下激光增益介质在输出镜和反射镜之间反复振荡不断放大，当激光功率达到输出阈值后激光束就会穿透激光输出镜输出到谐振腔外，成为适用于激光加工的激光束。一般二氧化碳激光器可以输出四种波长的激光束，分别是9.3μm、9.6μm、10.2μm和10.6μm，为了保证激光应用的稳定性，一台激光器只能输出一种波长的激光束，现有技术中通常是利用激光输出镜来筛选单一波长的激光，这种激光输出镜需要镀上较厚的光学膜层才能输出波长9.3μm的激光，现有技术中的镜片镀膜层总厚度一般为51.6μm -52.4μm，但是在实际应用中当镜片表面的光学膜层较厚时，通常都难以稳定的输出拟筛选波长的激光束，主要原因有两个方面，一是膜层太厚对激光的吸收和散射增加，导致激光损耗增加，激光输出功率下降；二是较厚的膜层在实际应用中也容易开裂或脱落，难以长期稳定的保证激光输出质量。

实用新型内容

本实用新型的目的是针对现有技术存在的问题，提供一种膜层厚度较薄且不易脱落的用于二氧化碳激光器的激光反射镜，该激光反射镜的镜片对波长9.3μm激光具有更高反射率，用于二氧化碳激光谐振腔振后，能够筛选出波长9.3μm的激光，从而促进谐振腔振荡输出9.3μm激光。

本实用新型的目的是通过以下技术方案解决的：

一种用于二氧化碳激光器的激光反射镜，其特征在于：该激光反射镜包括镜片基材、过渡层和镀膜层，镀膜层由依序设置在过渡层上的第一镀膜层、第二镀膜层、第三镀膜层、第四镀膜层、第五镀膜层、第六镀膜层构成，其中第一镀膜层采用氟化镱制成、第二镀膜层采用硒化锌制成、第三镀膜层采用氟化镱制成、第四镀膜层采用硒化锌制成、第五镀膜层采用氟化镱制成、第六镀膜层采用硒化锌制成，且镀膜层的总厚度为6930nm±90nm。

所述第一镀膜层的厚度为1520nm±20nm、第二镀膜层的厚度为790nm±10nm、第三镀膜层的厚度为1520nm±20nm、第四镀膜层的厚度为790nm±10nm、第五镀膜层的厚度为1520nm±20nm、第六镀膜层的厚度为790nm±10nm。

所述的过渡层由依序设置在镜片基材上的镀铬粘结层、镀金反射层和硒化锌粘结层构成。

所述镀铬粘结层的厚度为20nm±1nm，镀金反射层的厚度为200nm±10nm，硒化锌粘结层的厚度为80nm±5nm。

上述镜片基材、过渡层和镀膜层构成的激光反射镜镜片对波长9.3μm的激光反射率比该镜片对波长10.6μm的激光反射率高1.6%以上。

上述镜片基材、过渡层和镀膜层构成的激光反射镜镜片对波长9.3μm的激光反射率比该镜片对波长10.2μm的激光反射率高1.2%以上。

上述镜片基材、过渡层和镀膜层构成的激光反射镜镜片对波长9.3μm的激光反射率不低于99.91%。

上述镜片基材、过渡层和镀膜层构成的激光反射镜镜片对波长9.6μm的激光反射率不超过99.80%。