[实用新型]一种G6多晶铸锭炉

权利要求书

1.一种G6多晶铸锭炉，包括炉体（1），所述炉体（1）上设置有进气管（2），所述炉体（1）内设有隔热笼体（3），所述隔热笼体（3）内设有石英坩埚（4）、石墨护板（5）、顶部加热器（6）、侧部加热器（7）和散热平台（8），所述石墨护板（5）放置在散热平台（8）上，所述石英坩埚（4）放置在石墨护板（5）内，所述顶部加热器（6）设置在石墨护板（5）上方，所述侧部加热器（7）设置在石墨护板（5）的外侧，其特征在于：所述进气管（2）的一端伸入到石墨护板（5）内，另一端连通炉体（1）上端外侧，所述炉体（1）的下方设有出气管（9），所述出气管（9）的一端伸入到隔热笼体（3）内散热平台（8）的下方，另一端连通炉体（1）下端外侧；所述散热平台（8）内部设置有冷却气通道（10），所述冷却气通道（10）两端的气体入口和气体出口分别连接冷却气进管（11）和冷却气出管（12），所述冷却气进管（11）和冷却气出管（12）均伸出炉体（1）外。

2.根据权利要求1所述的一种G6多晶铸锭炉，其特征在于：所述散热平台（8）通过若干个石墨支撑柱（13）固定在炉体（1）底部。

3.根据权利要求1所述的一种G6多晶铸锭炉，其特征在于：所述炉体（1）的顶部安装有加热电极（14），所述加热电极（14）控制顶部加热器（6）和侧部加热器（7）的加热。

4.根据权利要求3所述的一种G6多晶铸锭炉，其特征在于：所述侧部加热器（7）设置在石墨护板（5）的四周。

5.根据权利要求4所述的一种G6多晶铸锭炉，其特征在于：所述侧部加热器（7）的电阻自上而下逐步减小。

6.根据权利要求1所述的一种G6多晶铸锭炉，其特征在于：所述隔热笼体（3）上连接有能够使隔热笼体（3）上下移动的升降立杆（15）。

7.根据权利要求1所述的一种G6多晶铸锭炉，其特征在于：所述进气管（2）的下部开口处安装有分流筒（16），所述分流筒（16）为圆弧结构且分流筒（16）上均匀分布有若干分流孔。

8.根据权利要求1所述的一种G6多晶铸锭炉，其特征在于：所述冷却气通道（10）呈“S”形或“回”字形返折布置。

9.根据权利要求1所述的一种G6多晶铸锭炉，其特征在于：所述石墨护板（5）为石墨板拼接成的箱型结构，且下方的石墨板上开有多个通孔。

10.根据权利要求1所述的一种G6多晶铸锭炉，其特征在于：所述进气管（2）、出气管（9）、冷却气进管（11）和冷却气出管（12）均采用中空的石墨管。