[实用新型]一种真空阀门的测试工装有效
申请号: | 201922331354.5 | 申请日: | 2019-12-23 |
公开(公告)号: | CN211292378U | 公开(公告)日: | 2020-08-18 |
发明(设计)人: | 郭卫强;朱东峰;李水波 | 申请(专利权)人: | 昆山新莱洁净应用材料股份有限公司 |
主分类号: | G01N3/12 | 分类号: | G01N3/12 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 胡彬 |
地址: | 215331 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 真空 阀门 测试 工装 | ||
1.一种真空阀门的测试工装,其特征在于:包括矩形安装底架(1)、矩形钢铸箱(4)、控制阀组(6)和控制柜(7),所述矩形安装底架(1)顶部的一侧通过第一焊接架(2)和第二焊接架(3)固定安装有矩形钢铸箱(4),所述矩形钢铸箱(4)两侧的中央位置处能够安装测试阀(5),所述矩形安装底架(1)顶部靠近所述矩形钢铸箱(4)的位置处固定安装有控制阀组(6),所述矩形安装底架(1)顶部远离所述矩形钢铸箱(4)的一侧固定安装有控制柜(7);所述矩形钢铸箱(4)两端的中央位置处设有抽真空连接口(402),所述矩形钢铸箱(4)两侧的中央位置处设有矩形孔(405),所述矩形钢铸箱(4)的两侧固定安装有钢板(403),所述钢板(403)内侧面的一周设有密封胶圈(401),所述钢板(403)的中央位置处开设有安装口(404)。
2.根据权利要求1所述的一种真空阀门的测试工装,其特征在于:所述控制阀组(6)底部的两侧固定安装有第三焊接架(601),所述控制阀组(6)顶部的一侧固定安装有焊接管(602),所述焊接管(602)的一端设有第一连接口(603),所述焊接管(602)远离第一连接口(603)的一端设有第二连接口(604),所述第一连接口(603)和所述第二连接口(604)通过导管与所述抽真空连接口(402)固定连接,所述焊接管(602)前侧的中央位置处安装有JC-1000气压传感器(606),所述焊接管(602)后侧的中央位置处设有第三焊接口(605),所述控制阀组(6)顶部的中央位置处固定安装有SV008真空泵(607),所述SV008真空泵(607)的输入端与所述第三焊接口(605)固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种真空阀门的测试工装,其特征在于:所述控制柜(7)的顶部设有控制开关(701)、键盘(702)和显示屏(703),所述控制柜(7)后部一侧的底部通过导线连接有插头(704)。
4.根据权利要求1所述的一种真空阀门的测试工装,其特征在于:所述矩形安装底架(1)底部的四个角固定安装有万向轮(101),万向轮(101)的后侧设有刹车杆(102)。
5.根据权利要求1所述的一种真空阀门的测试工装,其特征在于:所述矩形安装底架(1)的后侧通过焊接杆(8)固定安装有推杆(9),推杆(9)的表面套有防滑套(10)。
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