[实用新型]一种薄膜腔声谐振器

权利要求书

1.一种薄膜腔声谐振器，其特征在于，包括：

硅衬底，所述硅衬底上设有空腔；

电极层，包括第一电极层和第二电极层，所述第一电极层设为石墨烯薄膜，所述第一电极层和第二电极层依次设在所述硅衬底上方，所述第一电极层和第二电极层的水平面积均小于所述硅衬底的水平面积，所述第一电极层与第二电极层在水平面上的正投影只在所述空腔处相重合；

压电层，设在所述第一电极层与第二电极层之间。

2.根据权利要求1所述的薄膜腔声谐振器，其特征在于，所述空腔的内侧壁均与所述空腔的底面之间设有80°～88°的倾角。

3.根据权利要求2所述的薄膜腔声谐振器，其特征在于，所述空腔的四周设有多个开槽，每个所述开槽向上延伸并贯穿所述压电层，使所述开槽显露于所述压电层外，与外界大气相连通。

4.根据权利要求1所述的薄膜腔声谐振器，其特征在于，所述第一电极层和所述第二电极层分别从所述压电层的两端开始延伸并完全覆盖所述空腔的正上方。

5.根据权利要求4所述的薄膜腔声谐振器，其特征在于，所述第一电极层的水平面积大于第二电极层的水平面积。

6.根据权利要求4所述的薄膜腔声谐振器，其特征在于，所述第二电极层设为石墨烯薄膜或金属层。