[实用新型]一种用于单晶炉的二次加料漏斗装置有效

专利信息
申请号: 201922295514.5 申请日: 2019-12-19
公开(公告)号: CN211620661U 公开(公告)日: 2020-10-02
发明(设计)人: 宋生宏;高生全;文武;何旭;李德义;李广岳 申请(专利权)人: 阳光能源(青海)有限公司
主分类号: C30B15/00 分类号: C30B15/00;C30B29/06
代理公司: 青海省专利服务中心 63100 代理人: 李玉青
地址: 810000 青*** 国省代码: 青海;63
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 单晶炉 二次 加料 漏斗 装置
【说明书】:

实用新型公开了一种用于单晶炉的二次加料漏斗装置,包括单晶炉体,所述单晶炉体的内侧设置有保温筒,所述单晶炉体的内部设置有加热组件,所述加热组件位于保温筒的内部位置,所述单晶炉体内底部设置有坩埚轴,所述坩埚轴的上端固定连接有石墨坩埚,所述石墨坩埚的内部设置有石英坩埚,所述单晶炉体的内顶部固定连接有导流筒,所述单晶炉体的开口端设置有安装板,所述安装板的内侧固定连接有漏斗。本实用新型结构设计合理,在气流的作用下,可加快原料向下流动的速度,也可以防止原料发生堵塞的情况,以保证原料的快速下料,方便石英坩埚的再次利用。

技术领域

本实用新型涉及单晶炉装置技术领域,尤其涉及一种用于单晶炉的二次加料漏斗装置。

背景技术

单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。

目前,单晶炉在硅单晶拉制完成时,可采用二次加料装置向石英坩埚内再次投入颗粒状硅料,实现石英坩埚的再利用,这样能够降低第二根硅棒的拉制时间,而传统的单晶炉二次加料装置在加料的过程中,往往由于原料的大量落下容易出现堵塞的情况,影响加料的进度。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种用于单晶炉的二次加料漏斗装置,其在气流的作用下,可加快原料向下流动的速度,也可以防止原料发生堵塞的情况,以保证原料的快速下料,方便石英坩埚的再次利用。

为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:

一种用于单晶炉的二次加料漏斗装置,包括单晶炉体,所述单晶炉体的内侧设置有保温筒,所述单晶炉体的内部设置有加热组件,所述加热组件位于保温筒的内部位置,所述单晶炉体内底部设置有坩埚轴,所述坩埚轴的上端固定连接有石墨坩埚,所述石墨坩埚的内部设置有石英坩埚,所述单晶炉体的内顶部固定连接有导流筒,所述单晶炉体的开口端设置有安装板,所述安装板的内侧固定连接有漏斗,所述漏斗的内部设置有下料机构。

优选地,所述导流筒呈圆锥状结构,所述导流筒的直径自上而下逐渐变小。

优选地,所述下料机构包括固定连接在漏斗上侧的电动推杆,所述电动推杆的伸缩端延伸至漏斗的内部并固定连接有连接杆,所述连接杆的下端固定连接有挡板,所述连接杆的内部设置有防堵塞机构。

优选地,所述防堵塞机构包括设置在连接杆内部的连通腔,所述连接杆的外侧对称设置有两组相通出气口的连通腔,每个所述出气口由三个出气口构成,所述安装板的上侧固定连接有鼓风机,所述鼓风机的输出端连接有连接管,所述连接管远离鼓风机的一端延伸至漏斗的内部并连通连通腔。

优选地,所述出气口的出气方向呈向下倾斜设置,所述出气口的内部设置有纱网。

优选地,所述连接管位于漏斗内部的部分预留有一段供连接杆上下移动的管道。

本实用新型具备以下有益效果:

1、通过防堵塞机构的设置,利用气流倾斜向下流动,在气流的作用下,可加快原料向下流动的速度,也可以防止原料发生堵塞的情况,以保证原料的快速下料;

2、通过下料机构的设置,利用电动推杆的推杆,可实现挡板和漏斗的分离,方便打开漏斗的出料口进行下料工作。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种用于单晶炉的二次加料漏斗装置的结构示意图;

图2为本实用新型提出的一种用于单晶炉的二次加料漏斗装置的防堵塞机构的剖面结构示意图。

图中:1单晶炉体、2保温筒、3加热组件、4石墨坩埚、5石英坩埚、6坩埚轴、7导流筒、8挡板、9连接杆、10安装板、11漏斗、12电动推杆、13连通腔、14出气口、15鼓风机、16连接管。

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