[实用新型]一种神经刺激阵列系统

权利要求书

1.一种神经刺激阵列系统，其特征在于，包括柔性基底、光电响应层和电极层；其中，所述光电响应层嵌入所述柔性基底中，所述光电响应层由光电转化材料阵列排布而成，所述电极层位于所述光电响应层上。

2.根据权利要求1所述的神经刺激阵列系统，其特征在于，所述光电响应层的厚度小于或等于所述柔性基底的厚度。

3.根据权利要求2所述的神经刺激阵列系统，其特征在于，所述光电响应层的厚度为5-500μm，所述柔性基底的厚度为5-500μm。

4.根据权利要求1所述的神经刺激阵列系统，其特征在于，所述柔性基底具有孔阵列，所述光电响应层填充在所述孔阵列的孔中；所述孔为通孔或盲孔。

5.根据权利要求4所述的神经刺激阵列系统，其特征在于，所述孔为圆形、三角形、四边形或其他多边形。

6.根据权利要求4所述的神经刺激阵列系统，其特征在于，所述孔为直径为100μm-2mm的圆形。

7.根据权利要求1所述的神经刺激阵列系统，其特征在于，所述电极层的厚度为50-300nm。

8.根据权利要求1所述的神经刺激阵列系统，其特征在于，所述柔性基底的材质为聚酰亚胺、聚二甲基硅氧烷、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚对二甲苯或光刻胶。

9.根据权利要求1所述的神经刺激阵列系统，其特征在于，所述光电转化材料为光伏材料、光致形变材料复合压电材料或上转换材料复合光电材料。

10.根据权利要求1所述的神经刺激阵列系统，其特征在于，所述电极层的材质选自铂或其合金、金或其合金、钛或其合金、铱或其合金、钯或其合金、铌或其合金、钽或其合金、氮化钛、氧化铱、氧化铟锡、掺铝氧化锌、掺氟二氧化锡或掺磷二氧化锡。