[实用新型]一种高精度贴合用XY轴直线电机平台

说明书

本实用新型涉及一种高精度贴合用XY轴直线电机平台，属于机电设备领域,包括大理石底座以及设置于大理石底座上的直线导轨、X轴滑动座和直线电机Y轴；所述直线导轨为两根，左右平行设置于大理石底座上表面，所述X轴滑动座底部对应位置安装有导轨滑块，所述X轴滑动座通过导轨滑块在直线导轨上滑动，沿着滑动方向形成直线电机X轴；本实用新型基于多轴运动的直线电机应用，高精度大理石和高精度机械加工件以及高精度铟钢尺，使得可以实现高精度的应用。

技术领域

本实用新型涉及本实用新型属于机电设备领域，尤其是涉及一种高精度贴合用XY轴直线电机平台。

背景技术

直线电机是一种通过将封闭式磁场展开为开放式磁场，将电能直接转化为直线运动的机械能，而不需要任何中间转换机构的传动装置，简单来说，直线电机就是一个展开的旋转伺服电机。一台旋转的感应电动机，设想将它沿径向剖开，并将定、转子圆周展成直线，这就得到了最简单的有铁芯直线感应电机。

现有直线电机领域，针对高精密贴合应用的XY平台几乎空白，受限于加工能力，很难做到1微米以下的精度，而且此应用要求直线度和运行平面度在2微米以内。所以大部分此应用都是直接买原装进口的平台，但成本非常昂贵。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的研磨不充分的问题。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种高精度贴合用XY轴直线电机平台，包括大理石底座以及设置于大理石底座上的直线导轨、X轴滑动座和直线电机Y轴；

所述直线导轨为两根，左右平行设置于大理石底座上表面，所述X轴滑动座底部对应位置安装有导轨滑块，所述X轴滑动座通过导轨滑块在直线导轨上滑动，沿着滑动方向形成直线电机X轴；

所述直线电机Y轴安装于X轴滑动座之上，并于所述直线电机X轴形成XY平台；

还包括有直线电机定子和直线电机动子，所述直线电机定子设于大理石底座上两根直线导轨之间，所述直线电机动子安装于X轴滑动座下方对应位置。

所述大理石底座上固定安装有光栅尺，所述光栅尺侧贴于大理石底座内侧面且与所述直线导轨平行设置,光栅尺的读数头固定在X轴滑动座下方，所述光栅尺读数头面对所述光栅尺。

所述的X轴滑动座下方装有编码器，所述编码器与光栅尺相对布设。

还包括有限位机构，所述限位机构包括有设置在大理石底座侧面的传感器支架及设置在传感器支架上的光电限位装置，用于对X轴滑动座导轨滑块进行限位控制。

所述直线导轨外侧还设有端板，固定安装于大理石底座两端；所述两个端板之上还安装有盖板。

所述光栅尺为铟钢材质。

所述X轴底座为大理石材质，保证了极高的平面度。

本实用新型极低的膨胀系数，保证高精度，加上特有的装配生产工艺，满足高精度贴合应用。

本实用新型采用大理石底座，其吸振性远优于金属加工件，保证平台在高速运动时的平稳性及较低的震荡，且方便安装，容易拆卸，操作简单，灵活性大，可靠性高，通用性强。本实用新型基于多轴运动的直线电机应用，高精度大理石和高精度机械加工件以及高精度铟钢尺，使得可以实现高精度的应用。

附图说明

图1为一种高精度贴合用XY轴直线电机平台结构示意图；

图2为本实用新型组装示意图。

图中：1大理石底座，2直线导轨，3导轨滑块，4直线电机定子，5直线电机动子，6编码器，7光栅尺，8端板，9盖板，10传感器支架，11光电限位装置，12X轴滑动座，13直线电机Y轴。