[实用新型]一种提高大尺寸单晶硅寿命的单晶防护套

说明书

本实用新型提供一种提高大尺寸单晶硅寿命的单晶防护套，包括金属圆筒、隔离套筒、金属卡箍，所述隔离套筒设置于所述金属圆筒内部；所述金属卡箍与所述金属圆筒之间设置有支撑架；所述支撑架上设置有定位件；所述金属卡箍内部设置有用于隔离单晶棒的若干个隔离件。单晶棒防护套通过采用隔离部件，有效保证在拉制单晶时，尤其是对单晶寿命要求更为严格的直径为210‑280mm的大尺寸单晶，单晶棒不与金属直接接触，避免单晶表皮残留金属离子，从而提高单晶寿命。本实用新型涉及的单晶棒防护套具有结构简单，维修更换方便，加工成本低，生产效率高等优点。

技术领域

本实用新型属于半导体技术、设备领域，尤其是涉及一种提高大尺寸单晶硅寿命的单晶防护套。

背景技术

在拉制大尺寸的单晶产品时，单晶棒从单晶炉中取出后需进行散热，此时单晶温度为230℃左右。在散热过程中由于单晶圆棒头部为尖锐形状，可能划伤周围作业人员，发生安全事故。因此，一般采用金属防护装置对单晶棒进行防护。单晶寿命是衡量单晶品质的重要因素之一，单晶寿命可直接影响电池片的转换效率和光衰，而影响单晶寿命的最直接因素就是金属离子浓度。单晶中金属离子浓度越高，单晶寿命越短，最终电池片转换效率越低，光衰越严重。因金属防护装置是与单晶圆棒直接接触，防护套上的金属离子会残留在单晶表皮，在后期单晶表皮回用时，金属离子可造成单晶寿命缩短。

发明内容

针对现有的金属防护装置存在的不足，本实用新型旨在提供一种提高大尺寸单晶硅寿命的单晶防护套。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：

一种提高大尺寸单晶硅寿命的单晶防护套，包括：

金属圆筒；

隔离套筒，所述隔离套筒设置于所述金属圆筒内部；

金属卡箍，所述金属卡箍与所述金属圆筒之间设置有支撑架；所述支撑架上设置有定位件；所述金属卡箍内部设置有用于隔离单晶棒的若干个隔离件。

进一步地，所述隔离套筒为T型套筒，与所述金属圆筒中下部连接；所述隔离套筒为耐高温和耐腐蚀性的软质材料，且不与单晶硅反应。

进一步地，所述支撑架包括横杆和竖杆，所述横杆一端与所述竖杆上部垂直连接；所述横杆另一端与所述金属圆筒的外缘连接，所述竖杆下部与所述金属卡箍表面连接；所述支撑架与所述金属圆筒、所述金属卡箍均中心同轴。

更进一步地，所述定位件包括螺栓和定位螺母，所述定位件设置于所述竖杆上，通过调节所述螺栓和所述定位螺母来固定单晶棒；所述螺栓为耐高温和耐腐蚀性的软质材料，且不与单晶硅反应。

进一步地，所述隔离件为耐高温和耐腐蚀性的软质材料，且不与单晶硅反应。

更进一步地，所述隔离件由若干个模块单元组成，所述模块单元均匀分布于所述金属卡箍内部。

更进一步地，所述隔离件为环状结构，所述环状结构设置于所述金属卡箍内部。

由于采用上述技术方案，该单晶防护套通过采用隔离部件，有效保证在拉制单晶时，尤其是对单晶寿命要求更为严格的直径为210-280mm的大尺寸单晶，单晶棒不与金属直接接触，避免单晶表皮残留金属离子，从而提高单晶寿命。本实用新型涉及的单晶棒防护套具有结构简单，维修更换方便，加工成本低，生产效率高等优点。

附图说明

图1是本实用新型的一种实施例的结构示意图

图2是本实用新型的一种实施例的俯视图

图3是图2的D-D剖面图

图4是本实用新型的另一种实施例的结构示意图

图中：